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1. (WO2015136857) APPAREIL DE DÉPÔT, PROCÉDÉ DE COMMANDE DE CE DERNIER, PROCÉDÉ DE DÉPÔT UTILISANT L'APPAREIL DE DÉPÔT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/136857    N° de la demande internationale :    PCT/JP2015/000886
Date de publication : 17.09.2015 Date de dépôt international : 23.02.2015
CIB :
C23C 14/24 (2006.01), H01L 51/50 (2006.01), H05B 33/10 (2006.01)
Déposants : JOLED INC. [JP/JP]; 23, Kandanishiki-cho 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1010054 (JP)
Inventeurs : TAKIGUCHI, Akira;
Mandataire : NAKAJIMA & ASSOCIATES IP FIRM; 6F, Yodogawa 5-Bankan, 2-1, Toyosaki 3-chome, Kita-ku, Osaka-shi, Osaka 5310072 (JP)
Données relatives à la priorité :
2014-048024 11.03.2014 JP
Titre (EN) DEPOSITION APPARATUS, METHOD FOR CONTROLLING SAME, DEPOSITION METHOD USING DEPOSITION APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) APPAREIL DE DÉPÔT, PROCÉDÉ DE COMMANDE DE CE DERNIER, PROCÉDÉ DE DÉPÔT UTILISANT L'APPAREIL DE DÉPÔT ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
(JA) 蒸着装置及びその制御方法、蒸着装置を用いた蒸着方法、及びデバイスの製造方法
Abrégé : front page image
(EN)This deposition apparatus that codeposits different deposition materials is provided with: a chamber having a subject on which deposition materials are to be deposited is disposed therein; a first deposition source that discharges vapor of a first deposition material toward the subject; a second deposition source that discharges vapor of a second deposition material toward the subject; a first heating unit that heats the first deposition material; a second heating unit that heats the second deposition material; and a heating control unit that controls the first heating unit and the second heating unit. The heating control unit is configured to control the first and second heating units such that temperature increase of the second deposition material starts a predetermined time later than temperature increase of the first deposition material.
(FR)L'invention porte sur un appareil de dépôt qui effectue un dépôt simultané de différents matériaux de dépôt, pourvu de : une chambre à l'intérieur de laquelle est disposé un sujet sur lequel des matériaux de dépôt doivent être déposés ; une première source de dépôt qui injecte de la vapeur d'un premier matériau de dépôt vers le sujet ; une seconde source de dépôt qui injecte un second matériau de dépôt en phase vapeur vers le sujet; une première unité de chauffage qui chauffe le premier matériau de dépôt ; une seconde unité de chauffage qui chauffe le second matériau de dépôt ; et une unité de commande de chauffage qui commande la première unité de chauffage et la seconde unité de chauffage. L'unité de commande de chauffage est conçue pour commander les première et seconde unités de chauffage de façon telle que l'augmentation de la température du second matériau de dépôt commence à un moment prédéfini ultérieur par rapport à l'augmentation de température du premier matériau de dépôt.
(JA)異なる蒸着材料を共蒸着する蒸着装置であって、蒸着対象物が内設されるチャンバと、蒸着対象物に向けて第1蒸着材料の蒸気を吐出する第1蒸着源と、蒸着対象物に向けて第2蒸着材料の蒸気を吐出する第2蒸着源と、第1蒸着材料を加熱する第1加熱部と、第2蒸着材料を加熱する第2加熱部と、第1加熱部及び第2加熱部を制御する加熱制御部とを備え、加熱制御部は、第2蒸着材料の昇温が、第1蒸着材料の昇温よりも所定時間遅く開始されるように第1及び第2加熱部を制御可能に構成されている。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)