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1. (WO2015136635) PROCÉDÉ D'OBSERVATION D'ÉCHANTILLON ET APPAREIL À FAISCEAUX DE PARTICULES CHARGÉES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/136635    N° de la demande internationale :    PCT/JP2014/056425
Date de publication : 17.09.2015 Date de dépôt international : 12.03.2014
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 :    17.06.2014    
CIB :
H01J 37/20 (2006.01), H01J 37/317 (2006.01)
Déposants : HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
Inventeurs : MORIKAWA Akinari; (JP)
Mandataire : HIRAKI Yusuke; Atago Green Hills MORI Tower 32F, 5-1, Atago 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1056232 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) SAMPLE OBSERVATION METHOD AND CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS
(FR) PROCÉDÉ D'OBSERVATION D'ÉCHANTILLON ET APPAREIL À FAISCEAUX DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) 試料観察方法及び荷電粒子線装置
Abrégé : front page image
(EN)In order to provide an art of efficiently cooling a target area on a sample irrespective of a structure and a material of the sample, said target area being to be irradiated with charged particle beams, a substance (29), which has a high heat conductivity, and is liquid at a room temperature, is supplied to a target area (30) on a sample (3) or close to the target area, and the charged particle beams are radiated to the target area (30) after cooling (or coagulating) the substance (29) by means of a cooling member (20).
(FR)L'invention a pour objet de réaliser un mode de refroidissement efficace d'une zone cible sur un échantillon indépendamment d'une structure et d'un matériau de l'échantillon, ladite zone cible étant destinée à être irradiée par des faisceaux de particules chargées. Une substance (29), qui possède une forte conductivité thermique et qui est liquide à température ambiante, est délivrée à une zone cible (30) sur un échantillon (3) ou à proximité de la zone cible, et les faisceaux de particules chargées sont émis vers la zone cible (30) après refroidissement (ou coagulation) de la substance (29) au moyen d'un élément de refroidissement (20).
(JA)試料の構造や材料によらず、荷電粒子線を照射する試料上の目的箇所を効率良く冷却できるようにする技術を提供する。このため、熱伝導率が高く常温時に液体である物質(29)を、試料(3)上の目的箇所(30)又はその近傍付近に供給し、冷却部材(20)による物質(29)の冷却後(又は凝固後)、荷電粒子線を目的箇所(30)に照射する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)