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1. (WO2015134156) SYSTÈME RÉACTEUR THERMIQUE SUR CONDUITE DE REFOULEMENT PRIMAIRE À PLASMA
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/134156    N° de la demande internationale :    PCT/US2015/015048
Date de publication : 11.09.2015 Date de dépôt international : 09.02.2015
CIB :
B01J 19/08 (2006.01), C23C 16/44 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventeurs : DICKINSON, Colin John; (US)
Mandataire : PATTERSON, B. Todd; (US)
Données relatives à la priorité :
61/949,217 06.03.2014 US
Titre (EN) PLASMA FORELINE THERMAL REACTOR SYSTEM
(FR) SYSTÈME RÉACTEUR THERMIQUE SUR CONDUITE DE REFOULEMENT PRIMAIRE À PLASMA
Abrégé : front page image
(EN)The present disclosure relates to methods and apparatus for treating vacuum processing system exhaust gases. In addition, methods and apparatus for maintenance of foreline plasma reactor subsystems are disclosed. In some embodiments, an apparatus for treating an exhaust gas in a foreline of a vacuum processing system includes a plasma source coupled with a foreline of a process chamber, a treatment agent source coupled with the plasma source, and a downstream trap to cool an exhaust stream and trap particles in the exhaust stream. In some embodiments, multiple foreline plasma reactor subsystems are used with a vacuum processing system, and one foreline plasma reactor subsystem can be isolated and maintained (e.g., cleaned) while exhaust gas treatment continues in another foreline plasma reactor subsystem and processing continues in the vacuum processing system.
(FR)La présente invention concerne des procédés et un appareil pour le traitement de gaz effluents d'un système de traitement sous vide. De plus, l'invention concerne des procédés et un appareil pour l'entretien de sous-systèmes réacteurs à plasma sur conduite de refoulement primaire. Dans certains modes de réalisation, un appareil pour le traitement d'un gaz effluent dans une conduite de refoulement primaire d'un système de traitement sous vide comprend une source de plasma couplée à une conduite de refoulement primaire d'une chambre de traitement, une source d'agent de traitement couplée à la source de plasma et un piège aval pour refroidir un flux effluent et piéger des particules présentes dans le flux effluent. Dans certains modes de réalisation, de multiples sous-systèmes réacteurs à plasma sur conduite de refoulement primaire sont utilisés avec un système de traitement sous vide et un sous-système réacteur à plasma sur conduite de refoulement primaire peut être isolé et entretenu (par exemple nettoyé) alors que le traitement de gaz effluent se poursuit dans un autre sous-système réacteur à plasma sur conduite de refoulement primaire et le traitement se poursuit dans le système de traitement sous vide.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)