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1. (WO2015133509) PUCE DE CAPTEUR DE PRESSION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/133509    N° de la demande internationale :    PCT/JP2015/056314
Date de publication : 11.09.2015 Date de dépôt international : 04.03.2015
CIB :
G01L 19/06 (2006.01), G01L 13/02 (2006.01)
Déposants : AZBIL CORPORATION [JP/JP]; 2-7-3,Marunouchi,Chiyoda-ku, Tokyo 1006419 (JP)
Inventeurs : SETO,Yuki; (JP)
Mandataire : YAMAKAWA,Masaki; (JP)
Données relatives à la priorité :
2014-041266 04.03.2014 JP
Titre (EN) PRESSURE SENSOR CHIP
(FR) PUCE DE CAPTEUR DE PRESSION
(JA) 圧力センサチップ
Abrégé : front page image
(EN)In a pressure sensor chip according to the present invention, a non-bonding region (SA) which communicates with a peripheral part of a pressure introduction hole (11-2b), and an annular groove (11-2d) continuous with the non-bonding region (SA) are provided in part of a plane (PL) parallel to a pressure receiving surface of a sensor diaphragm (11-1) inside a stopper member (11-2). The cross-sectional shape of a first groove (11-2d1) which is dug on one side opposite to the sensor diaphragm (11-1) with the plane including the non-bonding region (SA) of the stopper member (11-2) therebetween of the annular groove (11-2d) includes a circular arc greater than or equal to a semicircle, and the cross-sectional shape of a second groove (11-2d2) dug on the other side includes a circular arc smaller than or equal to a semicircle. The second groove (11-2d2) is shifted closer to the pressure introduction hole (11-2b) side than the first groove (11-2d1). Ends of the circular arcs facing each other of the groove (11-2d1) and the groove (11-2d1) are not aligned. Consequently, expected withstanding pressure can be ensured by preventing stress concentration on a diaphragm edge.
(FR)L'invention concerne une puce de capteur de pression dans laquelle une région sans adhérence (SA) qui communique avec une partie périphérique d'un trou d'introduction de pression (11-2b), et une rainure annulaire (11-2d) associée en continu avec la région sans adhérence (SA) font partie d'un plan (PL) parallèle à une surface de réception de pression d'une membrane de capteur (11-1) à l'intérieur d'un élément butée (11-2). La forme de section transversale d'une première rainure (11-2d1) de la rainure annulaire (11-2d) qui est creusée d'un côté opposé à la membrane de capteur (11-1) avec le plan contenant la région sans adhérence (SA) de l'élément butée (11-2) entre les deux comprend un arc circulaire plus grand ou égal à un demi-cercle, et la forme de section transversale d'une deuxième rainure (11-2d2) creusée de l'autre côté comprend un arc circulaire plus petit ou égal à un demi-cercle. La deuxième rainure (11-2d2) est décalée plus près du côté du trou d'introduction de pression (11-2b) que la première rainure (11-2d1). Les extrémités des arcs circulaires de la rainure (11-2d1) se faisant face et la rainure (11-2d1) ne sont pas alignées. Par conséquent, la pression de résistance prévue peut être garantie en empêchant la concentration d'efforts sur un bord de membrane.
(JA) 本発明に係る圧力センサチップにおいて、ストッパ部材(11-2)の内部のセンサダイアフラム(11-1)の受圧面と平行な面(PL)の一部に、導圧孔(11-2b)の周部に連通する非接合領域(SA)と、非接合領域(SA)に連続する環状の溝(11-2d)とを設ける。この環状の溝(11-2d)のストッパ部材(11-2)の非接合領域(SA)を含む平面を挟んでセンサダイアフラム(11-1)と反対の一方側に掘り込まれた第1の溝(11-2d1)の断面形状は半円以上の円弧を含み、他方側に掘り込まれた第2の溝(11-2d2)の断面形状は半円以下の円弧を含む。第2の溝(11-2d2)を第1の溝(11-2d1)よりも導圧孔(11-2b)側にずらす。溝(11-2d1)と溝(11-2d1)の互いに対向する円弧の端部をずらす。これによれば、ダイアフラムエッジへの応力集中を防いで、期待される耐圧を確保することができる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)