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1. (WO2015133214) MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/133214    N° de la demande internationale :    PCT/JP2015/053033
Date de publication : 11.09.2015 Date de dépôt international : 04.02.2015
CIB :
H01J 37/28 (2006.01), H01J 37/04 (2006.01), H01J 37/05 (2006.01), H01J 37/09 (2006.01), H01J 37/21 (2006.01), H01J 37/244 (2006.01)
Déposants : HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
Inventeurs : SOHDA Yasunari; (JP).
OHASHI Takeyoshi; (JP).
MIWA Takafumi; (JP).
TAKAHASHI Noritsugu; (JP).
KAWANO Hajime; (JP)
Mandataire : POLAIRE I.P.C.; 13-11, Nihonbashikayabacho 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030025 (JP)
Données relatives à la priorité :
2014-045311 07.03.2014 JP
Titre (EN) SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
(FR) MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE
(JA) 走査電子顕微鏡
Abrégé : front page image
(EN)This scanning electron microscope comprises: an electron source (100) for generating an electron beam; trajectory dispersion devices (150, 151) for dispersing the trajectory of the electrons from the electron beam having different energies; a selection slit plate (170) having a selection slit for selecting the energy range of the dispersed electron beam; and a transmittance monitoring unit (180, 181) for monitoring the transmittance of the electron beam being transmitted through the selection slit. In this manner, the scanning electron microscope, which is equipped with an energy filter that achieves a stable reduction in energy dispersion, can be provided.
(FR)L'invention concerne un microscope électronique à balayage comprenant : une source d'électrons (100) pour générer un faisceau d'électrons ; des dispositifs de dispersion de trajectoire (150) 151) pour disperser la trajectoire des électrons du faisceau d'électrons présentant des énergies différentes ; une plaque à fente de sélection (170) dotée d'une fente de sélection pour sélectionner la plage d'énergie du faisceau d'électrons dispersé ; et une unité de surveillance de transmittance (180, 181) pour surveiller la transmittance du faisceau d'électrons transmis à travers la fente de sélection. De cette manière, le microscope électronique à balayage, qui est équipé d'un filtre d'énergie, permet d'obtenir une réduction de dispersion d'énergie stable.
(JA)本発明の走査電子顕微鏡は、電子ビームを発生させる電子源(100)と、電子ビームの異なるエネルギーの電子の軌道を分散させる軌道分散器(150,151)と、分散された電子ビームのエネルギー範囲の選択を行う選択スリットを有する選択スリット板(170)と、選択スリットを透過する電子ビームの透過率をモニターする透過率モニター部(180,181)とを有する。これにより、安定なエネルギー分散の低減を実現するエネルギーフィルタを搭載した走査電子顕微鏡を提供できる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)