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1. (WO2015132910) RÉCIPIENT DE STOCKAGE DE SUBSTRAT ET SECTION DE FILTRE POUR RÉCIPIENT DE STOCKAGE DE SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/132910    N° de la demande internationale :    PCT/JP2014/055659
Date de publication : 11.09.2015 Date de dépôt international : 05.03.2014
CIB :
H01L 21/673 (2006.01), B65D 85/86 (2006.01)
Déposants : MIRAIAL CO., LTD. [JP/JP]; 24-1, Higashi-Ikebukuro 1-chome, Toshima-ku, Tokyo 1700013 (JP)
Inventeurs : OYAMA, Takaharu; (JP)
Mandataire : SHOBAYASHI, Masayuki; Sapia Tower, 1-7-12, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo 1000005 (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) SUBSTRATE STORING CONTAINER AND FILTER SECTION FOR SUBSTRATE STORING CONTAINER
(FR) RÉCIPIENT DE STOCKAGE DE SUBSTRAT ET SECTION DE FILTRE POUR RÉCIPIENT DE STOCKAGE DE SUBSTRAT
(JA) 基板収納容器及び基板収納容器用のフィルタ部
Abrégé : front page image
(EN)In a board-like member housing chamber (804) of a filter section (80) of a substrate storing container, a board-like member (84) is disposed, said board-like member being capable of, in a board-like member housing chamber (804), moving between a circulation shut off position at which gas circulation from a substrate storing space to a space outside of a container main body is shut off, and a shifted position, which is a position different from the circulation shut off position, and which makes it possible to circulate the gas from the space outside of the container main body to the substrate storing space. The front surface and the rear surface of the board-like member (84) are in a positional relationship wherein the front surface and the rear surface intersect the direction in which an upper wall and a lower wall are connected to each other. When the lower wall of the container main body is positioned at a lower section, and the upper wall is positioned at an upper section, the board-like member (84) is capable of moving to the circulation shut off position by means of the own weight of the board-like member (84).
(FR)Dans une chambre (804) de logement d'élément de type panneau d'une section de filtre (80) d'un récipient de stockage de substrat, est disposé un élément de type panneau (84), ledit élément de type panneau pouvant se déplacer, dans une chambre (804) de logement d'élément de type panneau, entre une position d'arrêt de circulation au niveau de laquelle est arrêtée la circulation de gaz à partir d'un espace de stockage de substrat vers un espace à l'extérieur d'un corps principal de récipient, et une position décalée, qui consiste en une position différente de la position d'arrêt de circulation, et qui rend possible la circulation de gaz à partir de l'espace à l'extérieur du corps principal de récipient vers l'espace de stockage de substrat. La surface avant et la surface arrière de l'élément de type panneau (84) se trouvent dans une relation de position dans laquelle la surface avant et la surface arrière croisent la direction dans laquelle une paroi supérieure et une paroi inférieure sont reliées l'une à l'autre. Lorsque la paroi inférieure du corps principal de récipient est positionnée au niveau d'une section inférieure, et que la paroi supérieure est positionnée au niveau d'une section supérieure, l'élément de type panneau (84) peut se déplacer vers la position d'arrêt de circulation au moyen du propre poids de l'élément de type panneau (84).
(JA) 基板収納容器のフィルタ部(80)の板状部材収容室(804)には、板状部材収容室(804)において、基板収納空間から容器本体の外部の空間への気体の流通を遮断する流通遮断位置と、流通遮断位置とは異なる位置であって容器本体の外部の空間から基板収納空間へ気体を流通可能とするずれた位置との間で移動可能な板状部材(84)が配置されている。板状部材(84)の表面及び裏面は、上壁と下壁とを結ぶ方向に交差する位置関係を有する。板状部材(84)は、容器本体において下壁が下部に位置し上壁が上部に位置しているときには、板状部材(84)の自重により流通遮断位置へ移動可能である。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)