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1. (WO2015132444) PROTECTION D'UN ESPACE INTÉRIEUR D'UN CORPS CREUX AU MOYEN D'UN REVÊTEMENT PAR DÉPÔT DE COUCHES ATOMIQUES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/132444    N° de la demande internationale :    PCT/FI2014/050153
Date de publication : 11.09.2015 Date de dépôt international : 03.03.2014
CIB :
C23C 16/455 (2006.01)
Déposants : PICOSUN OY [FI/FI]; Tietotie 3 FI-02150 Espoo (FI)
Inventeurs : KOSTAMO, Juhana; (FI).
MALINEN, Timo; (FI)
Mandataire : ESPATENT OY; Kaivokatu 10 D FI-00100 Helsinki (FI)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) PROTECTING AN INTERIOR OF A HOLLOW BODY WITH AN ALD COATING
(FR) PROTECTION D'UN ESPACE INTÉRIEUR D'UN CORPS CREUX AU MOYEN D'UN REVÊTEMENT PAR DÉPÔT DE COUCHES ATOMIQUES
Abrégé : front page image
(EN)An apparatus and method for protecting an interior of a hollow body (410), where an inlet and exhaust manifold comprising a port assembly attachable to an opening (41 1 ) of the hollow body is provided, the interior of the hollow body is exposed to sequential self- saturating surface reactions by sequential inlet of reactive gases via said port assembly and said opening into the interior of the hollow body, and excess gases is pumped via said opening and said port assembly out from the hollow body. Technical effects are: a conformal protective coating, coating only the inside of the hollow body and a reduced cleaning need of a surrounding chamber.
(FR)La présente invention concerne un appareil et un procédé permettant de protéger un espace intérieur d'un corps creux (410), une tubulure d'entrée et d'échappement comprenant un ensemble orifice pouvant être fixé à une ouverture (411) du corps creux étant prévue, l'espace intérieur du corps creux étant exposé à des réactions superficielles d'auto-saturation séquentielles par entrée séquentielle de gaz réactifs par le biais dudit ensemble orifice et de ladite ouverture dans l'espace intérieur du corps creux, et l'excès de gaz étant pompé par le biais de ladite ouverture et dudit ensemble orifice hors du corps creux. L'invention permet d'obtenir les effets techniques suivants : un revêtement protecteur enrobant, revêtant uniquement l'espace intérieur du corps creux, et une réduction du besoin de nettoyage d'une chambre circonvoisine.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)