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1. (WO2015132089) CAPTEUR DE PRESSION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/132089    N° de la demande internationale :    PCT/EP2015/053675
Date de publication : 11.09.2015 Date de dépôt international : 23.02.2015
CIB :
G01L 7/08 (2006.01), B81C 1/00 (2006.01), G01L 9/00 (2006.01), G01L 13/02 (2006.01), G01L 19/06 (2006.01)
Déposants : ENDRESS+HAUSER GMBH+CO. KG [DE/DE]; Hauptstr. 1 79689 Maulburg (DE)
Inventeurs : KLÖFER, Peter; (DE).
THAM, Anh Tuan; (DE)
Mandataire : ANDRES, Angelika; (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2014 102 973.9 06.03.2014 DE
Titre (DE) DRUCKSENSOR
(EN) PRESSURE SENSOR
(FR) CAPTEUR DE PRESSION
Abrégé : front page image
(DE)Es ist ein kostengünstig herstellbarer kapazitiver Drucksensor, mit einer mit einem Druck beaufschlagbaren und druckabhängig elastisch verformbaren metallischen Messmembran (1), einer metallischen Halbschale (3), die eine mit einem äußeren Rand einer ersten Seite der Messmembran (1) verbundene, der Messmembran (1) zugewandte Stirnseite aufweist, einer unter der Messmembran (1) in der Halbschale (3) eingeschlossenen Druckkammer (5), einer in der Halbschale (3) angeordneten, von der Messmembran (1) beabstandeten Glasfüllung (11), und einem kapazitiven elektromechanischen Wandler zur messtechnischen Erfassung einer druckabhängigen Verformung der Messmembran (1), mit einer auf der Glasfüllung (11) angeordneten Messelektrode (15) und einer durch die metallische Messmembran (1) gebildete Gegenelektrode, beschrieben, dessen Messelektrode (15) ein auf einer der Messmembran (1) zugewandten Stirnseite der Glasfüllung (11) angeordnetes Tiefziehteil ist.
(EN)The invention relates to an inexpensively producible capacitive pressure sensor, comprising a pressure-dependent, elastically-deformable metallic measuring membrane (1) on which a pressure can be applied, a metallic half-shell (3) which has a front face facing the measuring membrane (1) and connected to an outer edge of a first side of the measuring membrane (1), a pressure chamber (5) enclosed in the half-shell (3) under the measuring membrane (1), a glass filling (11) arranged in the half-shell (3) at a distance from the measuring membrane (1), and a capacitive, electromechanical transducer for metrological detection of a pressure-dependent deformation of the measuring membrane (1). The transducer comprises a measuring electrode (15) arranged on the glass filling (11) and a counter electrode formed by the metallic measuring membrane (1), the measuring electrode (15) being a deep drawn component arranged on a front face of the glass filling (11) facing the measuring membrane (1).
(FR)L'invention concerne un capteur de pression capacitif de fabrication économique, qui comprend une membrane de mesure métallique (1) sur laquelle peut s'exercer une pression et qui est déformable élastiquement en fonction de la pression, et une demi-coque métallique (3) qui comporte un côté frontal relié à un bord extérieur d'un premier côté de la membrane de mesure (1) et tourné vers la membrane de mesure (1), une chambre de pression (5) enfermée dans la demi-coque (3) sous la membrane de mesure (1), un panneau de verre (11) disposé dans la demi-coque (3) à distance de la membrane de mesure (1), et un convertisseur électromécanique capacitif qui sert à détecter par des techniques de mesure une déformation de la membrane de mesure (1) dépendant de la pression, qui comporte une électrode de mesure (15) disposée sur le panneau de verre (11) et une contre-électrode formée par la membrane de mesure métallique (1) et dont l'électrode de mesure (15) est une pièce emboutie profond disposée sur un côté frontal, tourné vers la membrane de mesure (1), du panneau de verre (11).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)