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1. (WO2015130469) STRUCTURES DE VANNE PILOTE ET DISPOSITIFS DE COMMANDE DE DÉBIT MASSIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/130469    N° de la demande internationale :    PCT/US2015/015350
Date de publication : 03.09.2015 Date de dépôt international : 11.02.2015
CIB :
F16K 31/34 (2006.01), F16K 31/06 (2006.01)
Déposants : MKS INSTRUMENTS, INC. [US/US]; 2 Tech Drive, Suite 201 Andover, MA 01810 (US)
Inventeurs : GOMES, Richard; (US)
Mandataire : MCCLOSKEY, G., Matthew; (US)
Données relatives à la priorité :
14/194,092 28.02.2014 US
Titre (EN) PILOT VALVE STRUCTURES AND MASS FLOW CONTROLLERS
(FR) STRUCTURES DE VANNE PILOTE ET DISPOSITIFS DE COMMANDE DE DÉBIT MASSIQUE
Abrégé : front page image
(EN)Pilot valve structures are described as including a main valve having a main flow body and having an inlet and outlet, and a diaphragm, with a perimeter, a moveable portion, and first and second sides. A main flow orifice is located in the flow body between the inlet and outlet. A main valve plug is attached to and/or disposed in the moveable portion of the diaphragm and opens and closes the flow orifice when the moveable portion of the diaphragm is in first and second positions. The pilot valve also includes a pilot valve inlet that is connected to the flow path of the main flow body. A pilot valve outlet/orifice is disposed within and co-located with the main valve plug. The pilot valve includes a pilot valve plug, which is moveable to open and close the pilot valve orifice. Related mass flow controllers with such pilot valve structures are further described.
(FR)L'invention porte sur des structures de vanne pilote, lesquels structures comprennent une vanne principale ayant un corps d'écoulement principal et ayant une entrée et une sortie, et un diaphragme, avec une périphérie, une partie mobile et des premier et second côtés. Un orifice d'écoulement principal est situé dans le corps d'écoulement entre l'entrée et la sortie. Un bouchon de vanne principal est attaché à la partie mobile de diaphragme et/ou disposé dans cette dernière, et ouvre et ferme l'orifice d'écoulement quand la partie mobile du diaphragme est dans les première et seconde positions. La vanne pilote comprend également une entrée de vanne pilote qui est reliée à la trajectoire d'écoulement du corps d'écoulement principal. Un orifice/sortie de vanne pilote est disposé à l'intérieur du bouchon de vanne principal, et est situé conjointement avec ce dernier. La vanne pilote comprend un bouchon de vanne pilote, qui est mobile de façon à ouvrir et à fermer l'orifice de vanne pilote. L'invention porte également sur des dispositifs de commande de débit massique associés avec de telles structures de vanne pilote.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)