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1. (WO2015129292) DISPOSITIF À ÉTAGES ET DISPOSITIF À RAYONS DE PARTICULES CHARGÉES UTILISANT LE DISPOSITIF À ÉTAGES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/129292    N° de la demande internationale :    PCT/JP2015/050200
Date de publication : 03.09.2015 Date de dépôt international : 07.01.2015
CIB :
H01L 21/68 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H01J 37/20 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01), H02K 41/03 (2006.01)
Déposants : HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717 (JP)
Inventeurs : NISHIOKA Akira; (JP).
MIZUOCHI Masaki; (JP).
NAKAGAWA Shuichi; (JP).
MAKI Nobuyuki; (JP)
Mandataire : INOUE Manabu; (JP)
Données relatives à la priorité :
2014-033536 25.02.2014 JP
Titre (EN) STAGE DEVICE AND CHARGED PARTICLE RAY DEVICE USING THE SAME
(FR) DISPOSITIF À ÉTAGES ET DISPOSITIF À RAYONS DE PARTICULES CHARGÉES UTILISANT LE DISPOSITIF À ÉTAGES
(JA) ステージ装置およびそれを用いた荷電粒子線装置
Abrégé : front page image
(EN)In order to provide a stage device that effectively suppresses thermal deformation of a stage, said deformation being generated by a temperature increase caused by heat generated by a linear motor, and also provide a charged particle ray device using the same, the present invention provides a stage device which is equipped with a table (2) and a linear motor (5, 6) that drives the table in a prescribed direction, and in which the table and a moving part of the linear motor are connected by components (8, 10), and thermal deformation of the table is suppressed by a slide unit (16) being attached to a component (10) and movement being constrained to a rail fixed to a base, at the same time as the slide unit is positioned vertically below a location where a component (8) is joined to the table.
(FR)L'invention concerne un dispositif à étages supprimant efficacement la déformation thermique d'un étage, cette déformation étant générée par une augmentation de température provoquée par la chaleur produite par un moteur linéaire ; et un dispositif à rayons de particules chargées utilisant le dispositif à étages. Ledit dispositif à étages est équipé d'une table (2) et d'un moteur linéaire (5, 6) entraînant la table dans une direction prédéfinie dans laquelle la table et une partie mobile du moteur linéaire sont reliés par des composants (8, 10). La déformation thermique de la table est supprimée par une unité de coulissement (16) fixée à un composant (10), le déplacement étant limité à un rail fixé à une base simultanément au positionnement vertical de l'unité coulissante en-dessous d'un emplacement où un composant (8) est relié à la table.
(JA) 本発明は、リニアモータの発熱による温度上昇で生じるステージの熱変形を効果的に抑制するステージ装置およびそれを用いた荷電粒子線装置の提供を目的とする。上記目的を達成するために、テーブル(2)とテーブルを所定の方向に駆動するリニアモータ(5、6)を備えたステージ装置であって、テーブルと前記リニアモータの可動子を部品(8、10)によって接続し、部品10にはスライドユニット(16)を取り付けてベースに固定されたレールで移動を拘束し、同時に、そのスライドユニットは部品(8)がテーブルと接合している箇所の垂直下部に配置することで、テーブルの熱変形を抑制する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)