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1. (WO2015128297) SYSTÈME LASER ADAPTATIF POUR UNE SOURCE DE LUMIÈRE À ULTRAVIOLETS EXTRÊMES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/128297    N° de la demande internationale :    PCT/EP2015/053763
Date de publication : 03.09.2015 Date de dépôt international : 24.02.2015
CIB :
H05G 2/00 (2006.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven (NL)
Inventeurs : TAO, Yezheng; (US).
BROWN, Daniel, John, William; (US).
SCHAFGANS, Alexander, Anthony; (US).
CAUDILL, Michael, David; (US).
GOLICH, Daniel, James; (US).
SANDSTROM, Richard, Lynne; (US).
AMADA, Yoshiho; (US)
Mandataire : SIEM, Max Yoe Shé; (NL)
Données relatives à la priorité :
14/194,027 28.02.2014 US
Titre (EN) ADAPTIVE LASER SYSTEM FOR AN EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE
(FR) SYSTÈME LASER ADAPTATIF POUR UNE SOURCE DE LUMIÈRE À ULTRAVIOLETS EXTRÊMES
Abrégé : front page image
(EN)A system for an extreme ultraviolet (EUV) light source includes an optical amplifier (206) including a gain medium (207) positioned on a beam path, the optical amplifier configured to receive a light beam at an input and to emit an output light beam for an EUV light source at an output; a feedback system (215) that measures a property of the output light beam and produces a feedback signal (219) based on the measured property; and an adaptive optic (208) positioned in the beam path and configured to receive the feedback signal and to adjust a property of the output light beam in response to the feedback signal.
(FR)L'invention concerne un système pour une source de lumière à ultraviolets extrêmes (UVE) qui inclut un amplificateur optique (206) incluant un milieu de gain (207) positionné sur un chemin de faisceau, l'amplificateur optique servant à recevoir un faisceau de lumière à une entrée et à émettre un faisceau de lumière de sortie pour une source de lumière à UVE à une sortie; un système de retour (215) qui mesure une propriété du faisceau de lumière de sortie et produit un signal de retour (219) sur la base de la propriété mesurée; et une optique adaptative (208) positionnée dans le chemin de faisceau et servant à recevoir le signal de retour et à régler une propriété du faisceau de lumière de sortie en réponse au signal de retour.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)