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1. (WO2015128290) OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE POUR LA MICROLITHOGRAPHIE AINSI QU'INSTALLATION D'ÉCLAIRAGE PAR PROJECTION COMPRENANT UNE OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE DE CE TYPE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/128290    N° de la demande internationale :    PCT/EP2015/053729
Date de publication : 03.09.2015 Date de dépôt international : 23.02.2015
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), G02B 26/08 (2006.01)
Déposants : CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen (DE)
Inventeurs : DEGÜNTHER, Markus; (DE)
Mandataire : RAU, SCHNECK & HÜBNER PATENTANWÄLTE RECHTSANWÄLTE PARTGMBB; Königstrasse 2 90402 Nürnberg (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2014 203 347.0 25.02.2014 DE
Titre (DE) BELEUCHTUNGSOPTIK FÜR DIE MIKRO-LITHOGRAFIE SOWIE PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE MIT EINER DERARTIGEN BELEUCHTUNGSOPTIK
(EN) ILLUMINATING OPTICAL UNIT FOR MICROLITHOGRAPHY, AND PROJECTION LIGHTING SYSTEM WITH SUCH AN ILLUMINATING OPTICAL UNIT
(FR) OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE POUR LA MICROLITHOGRAPHIE AINSI QU'INSTALLATION D'ÉCLAIRAGE PAR PROJECTION COMPRENANT UNE OPTIQUE D'ÉCLAIRAGE DE CE TYPE
Abrégé : front page image
(DE)Eine Beleuchtungsoptik dient zur Ausleuchtung eines Objektfeldes. Die Beleuchtungsoptik hat mehrere MMA-Abschnitte (10a bis 10d), wobei jeder der MMA-Abschnitte (10a bis 10d) eine Mehrzahl von Einzelspiegeln aufweist. Die Beleuchtungsoptik hat eine Polarisationsoptik (30) zur Vorgabe von Polarisationszuständen von auf die MMA-Abschnitte (10a bis d) auftreffendem Beleuchtungslicht (8). Eine Bündelverteilungsoptik (29) der Beleuchtungsoptik dient zum Aufteilen eines einfallenden Bündels des Beleuchtungslichts (8) und zum Verteilen des Beleuchtungslichts (8) auf Abschnitte (30a bis 30d) der Polarisationsoptik (30). Die Bündelverteilungsoptik (29) ist so ausgeführt, dass sie mehrere Teilbündel (8a bis 8d) des Beleuchtungslichts (8) erzeugt, deren Bündelprofil mit dem Bündelprofil des einfallenden Bündels des Beleuchtungslichts (8) übereinstimmt. Jeweils mindestens ein Beleuchtungslicht-Teilbündel (8a bis 8d) wird hin zu einem diesem zugeordneten Polarisationsoptik-Abschnitt (30a bis 30d) gelenkt. Es resultiert eine Beleuchtungsoptik, bei der eine beispielsweise gegenüber Drifteffekten der primären Lichtquelle unempfindliche Polarisationseinstellung des Beleuchtungslichts gewährleistet ist.
(EN)An illuminating optical unit is used to illuminate an object field. The illuminating optical unit has multiple MMA portions (10a to 10d), each of the MMA portions (10a to 10d) having a plurality of individual mirrors. The illuminating optical unit has a polarization optical unit (30) for specifying polarization conditions of the illuminating light (8) incident on the MMA portions (10a to 10d). A bundle distributing optical unit (29) of the illuminating optical unit is used to separate an incident bundle of the illuminating light (8) and to distribute the illuminating light (8) onto portions (30a to 30d) of the polarization optical unit (30). The bundle distributing optical unit (29) is designed so as to generate multiple sub-bundles (8a to 8d) of the illuminating light (8), the bundle profile of said sub-bundles matching the bundle profile of the incident bundle of the illuminating light (8). At least one respective illuminating light sub-bundle (8a to 8d) is deflected to a polarization optical unit portion (30a to 30d) paired with said sub-bundle, resulting in an illuminating optical unit in which an illuminating light polarization setting is ensured which is not sensitive to drift effects of the primary light source for example.
(FR)L'invention concerne une optique d'éclairage servant à illuminer un champ d'objet. L'optique d'éclairage comprend plusieurs parties MMA (10 à 10d), chacune desdites parties MMA (10a à 10d) comportant une multitude de miroirs individuels. L'optique d'éclairage comprend une optique de polarisation (30) servant à spécifier des états de polarisation de la lumière d'éclairage (8) arrivant sur les parties MMA (10a à 10d). Une optique de répartition de faisceau (29) de l'optique d'éclairage sert à diviser un faisceau de lumière d'éclairage (8) incident et à répartir la lumière d'éclairage (8) sur des parties (30a à 30d) de l'optique de polarisation (30). L'optique de répartition de faisceau (29) est réalisée de telle sorte qu'elle produit plusieurs faisceaux partiels (8a à 8d) de la lumière d'éclairage (8), le profil desdits faisceaux coïncidant avec le profil du faisceau incident de la lumière d'éclairage (8). Respectivement au moins un faisceau partiel de lumière d'éclairage (8a à 8d) est dirigé en direction d'une partie d'optique de polarisation (30a à 30d) associée audit faisceau partiel. Il en résulte une optique d'éclairage garantissant un réglage de polarisation de la lumière d'éclairage, qui n'est pas sensible par exemple aux effets de dérive de la source de lumière primaire.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)