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1. (WO2015127449) POSITIONNEMENT PRÉCIS D'UNE SONDE DANS LES SYSTÈMES DE MICROSCOPIE À SONDE À BALAYAGE AUTOMATISÉS

Pub. No.:    WO/2015/127449    International Application No.:    PCT/US2015/017319
Publication Date: Fri Aug 28 01:59:59 CEST 2015 International Filing Date: Wed Feb 25 00:59:59 CET 2015
IPC: G01Q 10/06
G01Q 60/16
G01Q 70/02
Applicants: BRUKER NANO, INC.
Inventors: OSBORNE, Jason
MILLIGAN, Eric
LOPEZ, Andrew
WU, Robert
HAND, Sean
FONOBEROV, Vladimir
Title: POSITIONNEMENT PRÉCIS D'UNE SONDE DANS LES SYSTÈMES DE MICROSCOPIE À SONDE À BALAYAGE AUTOMATISÉS
Abstract:
L'invention concerne un système de microscope à sonde à balayage (SPM) et un système associé. Le système SPM comprend une sonde adaptée pour coopérer avec des caractéristiques à l'échelle nanométrique d'un échantillon et effectuer un balayage à l'intérieur d'une zone cible afin de produire une image tridimensionnelle de cette région cible, le système maintenant des informations de localisation pour une pluralité de caractéristiques intéressantes de l'échantillon conformément à un système de coordonnées spécifique à l'échantillon. Le système SPM est configuré pour ajuster le positionnement de la sonde par rapport à l'échantillon conformément à un système de coordonnées de SPM, le système SPM est en outre configuré pour gérer une relation dynamique entre le système de coordonnées spécifique à l'échantillon et le système de coordonnées de SPM en déterminant un ensemble d'erreurs d'alignement entre le système de coordonnées spécifique à l'échantillon et le système de coordonnées de SPM et pour appliquer des corrections au système de coordonnées de SPM afin de compenser les erreurs d'alignement déterminées.