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1. (WO2015127191) SYSTÈME ET PROCÉDÉ POUR LE TRAITEMENT BIFACIAL DE SUBSTRATS

Pub. No.:    WO/2015/127191    International Application No.:    PCT/US2015/016799
Publication Date: Fri Aug 28 01:59:59 CEST 2015 International Filing Date: Sat Feb 21 00:59:59 CET 2015
IPC: C23C 14/50
H01L 21/677
Applicants: INTEVAC, INC.
BLUCK, Terry
SHAH, Vinay
LATCHFORD, Ian
RIPOSAN, Alexandru
Inventors: BLUCK, Terry
SHAH, Vinay
LATCHFORD, Ian
RIPOSAN, Alexandru
Title: SYSTÈME ET PROCÉDÉ POUR LE TRAITEMENT BIFACIAL DE SUBSTRATS
Abstract:
Système de traitement de substrats dans des chambres à plasma, de telle sorte que toutes les opérations de transport et de chargement/déchargement de substrats soient réalisées dans un environnement atmosphérique, mais que le traitement soit effectué dans un environnement sous vide. Les substrats sont transportés dans tout le système sur des supports. Les chambres du système sont agencées de manière linéaire, de telle sorte que les supports passent directement d'une chambre à l'autre. Un transporteur, placé au-dessus ou au-dessous des chambres du système, ramène les supports à la zone d'entrée du système à la fin du traitement. Les supports sont conçus pour supporter des substrats de différentes tailles. Les supports sont également conçus pour retourner les substrats de telle sorte que les deux surfaces des substrats puissent être traitées.