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1. (WO2015127141) SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE PULVÉRISATION CATHODIQUE POUR MATÉRIAUX FORTEMENT MAGNÉTIQUES

Pub. No.:    WO/2015/127141    International Application No.:    PCT/US2015/016712
Publication Date: Fri Aug 28 01:59:59 CEST 2015 International Filing Date: Fri Feb 20 00:59:59 CET 2015
IPC: C23C 14/00
C23C 14/34
C23C 14/35
Applicants: INTEVAC, INC.
Inventors: BROWN, David, Ward
BLUCK, Terry
Title: SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE PULVÉRISATION CATHODIQUE POUR MATÉRIAUX FORTEMENT MAGNÉTIQUES
Abstract:
L'invention concerne un système de dépôt de matériaux à partir d'une cible sur des substrats, comprenant une chambre de traitement ; une cible de pulvérisation ayant une longueur L et un matériau de pulvérisation cathodique fortement magnétique étant disposé sur la surface avant de celle-ci ; un ensemble aimant pouvant fonctionner pour effectuer un balayage en va-et-vient à travers la longueur L en étroite proximité à la surface arrière de la cible ; et l'ensemble aimant comprend : une plaque arrière constituée d'un matériau magnétique ; un premier groupe d'aimants disposés dans une seule ligne centrale par rapport à la plaque arrière et ayant un premier pôle positionné de manière à faire face à la surface arrière de la cible ; et un second groupe d'aimants disposés autour de la périphérie de la plaque arrière de manière à entourer le premier groupe d'aimants, le second groupe d'aimants ayant un second pôle, opposé au premier pôle, placé de façon à faire face à la surface arrière de la cible.