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1. (WO2015127031) TIR AU LASER SÉQUENTIEL POUR TRAITEMENT DE FILM MINCE

Pub. No.:    WO/2015/127031    International Application No.:    PCT/US2015/016552
Publication Date: Fri Aug 28 01:59:59 CEST 2015 International Filing Date: Fri Feb 20 00:59:59 CET 2015
IPC: C30B 13/24
H01L 21/00
H01L 21/02
H01L 21/268
Applicants: THE TRUSTEES OF COLUMBIA UNIVERSITY IN THE CITY OF NEW YORK
Inventors: IM, James, S.
YU, Miao
Title: TIR AU LASER SÉQUENTIEL POUR TRAITEMENT DE FILM MINCE
Abstract:
La présente invention concerne des procédés et des systèmes permettant de traiter un film mince. Un procédé donné à titre d'exemple peut consister à exposer une première région du film mince à une première impulsion laser présentant une première densité d'énergie suffisante pour faire fondre partiellement la première région et pour provoquer une croissance latérale de grain cristallin à partir d'une région d'ensemencement à l'intérieur de la première région après la première impulsion laser et à exposer la première région du film mince au moyen d'au moins une impulsion laser séquentielle à un certain intervalle de temps à la suite de la première impulsion laser et à une seconde densité d'énergie suffisante pour retarder la germination cristalline et pour étendre la croissance latérale à l'intérieur de la première région sans faire fondre partiellement le film.