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1. (WO2015126819) STRUCTURE DE SUPPORT DE PLATEAU
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/126819    N° de la demande internationale :    PCT/US2015/016132
Date de publication : 27.08.2015 Date de dépôt international : 17.02.2015
CIB :
H01L 21/683 (2006.01)
Déposants : VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC. [US/US]; 35 Dory Road Gloucester, Massachusetts 01930 (US)
Inventeurs : FISH, Roger B.; (US).
ANELLA, Steven; (US).
MACEACHERN, Todd Lewis; (US)
Mandataire : DAISAK, Daniel N.; (US)
Données relatives à la priorité :
14/186,678 21.02.2014 US
Titre (EN) PLATEN SUPPORT STRUCTURE
(FR) STRUCTURE DE SUPPORT DE PLATEAU
Abrégé : front page image
(EN)A platen support structure adapted to thermally insulate a heated platen portion from a cold base plate while providing substantially leak-free gas transport therebetween and while allowing thermal expansion and contraction of the platen portion. Various examples provide of the support structure provide a tubular flexure having an internal gas conduit, a platen portion mounting tab connected to the flexure and having an internal gas input slot that is in fluid communication with the internal gas conduit of the flexure, the platen portion mounting tab being adapted for connection to a platen portion of a platen, and a base plate mounting tab connected to the flexure and having an internal gas output slot that is in fluid communication with the internal gas conduit of the flexure, the base plate mounting tab being adapted for connection to a base plate of the platen.
(FR)L'invention concerne une structure de support de plateau conçue pour isoler thermiquement une partie de plateau chauffant relativement à une plaque de base froide tout en assurant un transport de gaz sensiblement sans fuite entre elles et tout en permettant une dilatation et une contraction thermique de la partie de plateau. Divers exemples décrits de la structure de support utilisent un élément flexible tubulaire comportant un conduit de gaz interne, une patte de montage à la partie de plateau raccordée à l'élément flexible et comportant une fente d'entrée de gaz interne qui est en communication fluidique avec le conduit de gaz interne de l'élément flexible, la patte de montage à la partie de plateau étant conçue pour être raccordée à une partie de plateau d'un plateau, et une patte de montage à la plaque de base raccordée à l'élément flexible et comportant une fente de sortie de gaz interne qui est en communication fluidique avec le conduit de gaz interne de l'élément flexible, la patte de montage à la plaque de base étant conçue pour être raccordée à une plaque de base du plateau.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)