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1. (WO2015126534) APPAREIL ET PROCEDES POUR METTRE EN OEUVRE UNE CORRECTION D'ERREUR SYSTEMATIQUE PREDITE DANS UN TRAITEMENT SPECIFIQUE DE L'EMPLACEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/126534    N° de la demande internationale :    PCT/US2015/010655
Date de publication : 27.08.2015 Date de dépôt international : 08.01.2015
CIB :
H01L 21/02 (2006.01), H01L 21/268 (2006.01), H01L 21/66 (2006.01)
Déposants : TEL EPION INC. [US/US]; 900 Middlesex Turnpike, Bldg. 6 Billerica, Massachusetts 01821 (US)
Inventeurs : LAGANA-GIZZO, Vincent; (US).
RUSSELL, Noel; (US).
LAROSE, Joshua; (US).
CHAE, Soo Doo; (US)
Mandataire : STRANG, Eric; (US)
Données relatives à la priorité :
61/942,835 21.02.2014 US
14/492,819 22.09.2014 US
Titre (EN) APPARATUS AND METHODS FOR IMPLEMENTING PREDICTED SYSTEMATIC ERROR CORRECTION IN LOCATION SPECIFIC PROCESSING
(FR) APPAREIL ET PROCEDES POUR METTRE EN OEUVRE UNE CORRECTION D'ERREUR SYSTEMATIQUE PREDITE DANS UN TRAITEMENT SPECIFIQUE DE L'EMPLACEMENT
Abrégé : front page image
(EN)A method of modifying an upper layer of a workpiece using a gas cluster ion beam (GCIB) is described. The method includes collecting parametric data relating to an upper layer of a workpiece, and determining a predicted systematic error response for applying a GCIB to the upper layer to alter an initial profile of a measured attribute by using the parametric data. Additionally, the method includes identifying a target profile of the measured attribute, directing the GCIB toward the upper layer of the workpiece, and spatially modulating an applied property of the GCIB, based at least in part on the predicted systematic error response and the parametric data, as a function of position on the upper layer of the workpiece to achieve the target profile of the measured attribute.
(FR)L'invention concerne un procédé de modification de la couche supérieure d'une pièce à usiner au moyen d'un faisceau ionique d'amas gazeux (GCIB). Le procédé consiste à : collecter des données paramétriques relatives à la couche supérieure d'une pièce à usiner, et déterminer une réponse d'erreur systématique prédite en vue de l'application d'un faisceau GCIB sur la couche supérieure afin de modifier le profil initial d'un attribut mesuré à l'aide des données paramétriques ; identifier en outre un profil cible de l'attribut mesuré, diriger le faisceau GCIB vers la couche supérieure de la pièce à usiner, et moduler spatialement une propriété appliquée du faisceau GCIB, au moins partiellement sur la base de la réponse d'erreur systématique prédite et des données paramétriques, en fonction de la position sur la couche supérieure de la pièce à usiner, en vue d'obtenir le profil cible de l'attribut mesuré.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)