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1. (WO2015126498) DIVISEUR DE FRÉQUENCE MICROMÉCANIQUE

Pub. No.:    WO/2015/126498    International Application No.:    PCT/US2014/068209
Publication Date: Fri Aug 28 01:59:59 CEST 2015 International Filing Date: Wed Dec 03 00:59:59 CET 2014
IPC: H03L 7/18
Applicants: THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA
Inventors: NGUYEN, Clark T.-C.
ROCHELEAU, Tristan O.
Title: DIVISEUR DE FRÉQUENCE MICROMÉCANIQUE
Abstract:
Appareil diviseur de fréquence à système micro-électromécanique (MEMS) comportant un ou plusieurs résonateurs MEMS sur un substrat. Une fréquence de premier oscillateur, en tant que multiple approximatif de la fréquence d'oscillation paramétrique, est couplée de manière capacitive à partir d'une électrode très étroitement espacée (par exemple, 40 nm) à une structure résonante du premier oscillateur, ce qui permet d'induire une oscillation mécanique. Cette oscillation mécanique peut être couplée par le biais de résonateurs MEMS supplémentaires sur le substrat. La résonance mécanique est ensuite convertie, dans au moins l'un des résonateurs MEMS, par recouplage capacitif en un signal électrique qui est une division de la première fréquence d'oscillation. Une sortie peut être produite sous la forme d'une sortie à extrémité unique, ou en réponse à un signal différentiel entre deux électrodes de sortie.