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1. (WO2015126087) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UNE COUCHE MINCE DE CHALCOGÉNURE MÉTALLIQUE ET COUCHE MINCE FABRIQUÉE À L’AIDE DE CELUI-CI

Pub. No.:    WO/2015/126087    International Application No.:    PCT/KR2015/001328
Publication Date: Fri Aug 28 01:59:59 CEST 2015 International Filing Date: Wed Feb 11 00:59:59 CET 2015
IPC: C23C 16/448
C23C 16/56
Applicants: LG ELECTRONICS INC.
엘지전자 주식회사
RESEARCH & BUSINESS FOUNDATION SUNGKYUNKWAN UNIVERSITY
성균관대학교 산학협려단
Inventors: CHOI, Minseok
최민석
LEE, Changgu
이창구
KIM, Youngchan
김영찬
Title: PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UNE COUCHE MINCE DE CHALCOGÉNURE MÉTALLIQUE ET COUCHE MINCE FABRIQUÉE À L’AIDE DE CELUI-CI
Abstract:
La présente invention concerne la fabrication d'une couche mince comportant un hétéroélément, et particulièrement un procédé de fabrication d'une couche mince de chalcogénure métallique et la couche mince fabriquée à l’aide de celui-ci. La présente invention, qui concerne un procédé de fabrication d'une couche mince de chalcogénure métallique, peut comprendre les étapes consistant à : fournir un précurseur métallique vaporisé ; fournir un gaz contenant un chalcogène ; et former une couche mince en faisant réagir le précurseur métallique avec le gaz contenant un chalcogène sur un substrat de croissance à une première condition de température.