WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2015125827) PROCÉDÉ DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE PULSÉE, DISPOSITIF LASER PULSÉ, ET DISPOSITIF D'EXPOSITION ET DISPOSITIF D'INSPECTION DOTÉ D'UN DISPOSITIF LASER PULSÉ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/125827    N° de la demande internationale :    PCT/JP2015/054451
Date de publication : 27.08.2015 Date de dépôt international : 18.02.2015
CIB :
G02F 1/03 (2006.01), G02F 1/37 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01), H01S 3/00 (2006.01), H01S 3/10 (2006.01)
Déposants : NIKON CORPORATION [JP/JP]; 15-3, Konan 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1086290 (JP)
Inventeurs : INABA, Naoto; (JP).
TOKUHISA, Akira; (JP)
Mandataire : NAGAI, Fuyuki; (JP)
Données relatives à la priorité :
2014-028755 18.02.2014 JP
Titre (EN) PULSED LIGHT GENERATION METHOD, PULSED LASER DEVICE, AND EXPOSURE DEVICE AND INSPECTION DEVICE PROVIDED WITH PULSED LASER DEVICE
(FR) PROCÉDÉ DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE PULSÉE, DISPOSITIF LASER PULSÉ, ET DISPOSITIF D'EXPOSITION ET DISPOSITIF D'INSPECTION DOTÉ D'UN DISPOSITIF LASER PULSÉ
(JA) パルス光の発生方法、パルスレーザ装置、及び該パルスレーザ装置を備えた露光装置及び検査装置
Abrégé : front page image
(EN)A pulsed light generation method that generates pulsed light by using an intensity-modulating electro-optical modulator to chop laser light that is output from a laser light source. The pulsed light generation method generates pulsed light by driving the electro-optical modulator using a drive signal that changes the voltage applied to the electro-optical modulator between a voltage that is lower than a reference voltage and a voltage that is higher than the reference voltage, the reference voltage being the voltage that is applied to the electro-optical modulator when the transmittance of the laser light transmitted through the electro-optical modulator is at a maximum.
(FR)L'invention concerne un procédé de génération de lumière pulsée qui génère une lumière pulsée en utilisant un modulateur électro-optique à modulation d'intensité pour hacher la lumière laser qui est produite en sortie à partir d'une source de lumière laser. Le procédé de génération de lumière pulsée génère une lumière pulsée en excitant le modulateur électro-optique au moyen d'un signal d'excitation qui modifie la tension appliquée au modulateur électro-optique entre une tension qui est inférieure à une tension de référence et une tension qui est supérieure à la tension de référence, la tension de référence étant la tension qui est appliquée au modulateur électro-optique lorsque la transmittance de la lumière laser transmise à travers le modulateur électro-optique est à un maximum.
(JA) パルス光の発生方法は、レーザ光源から出力されたレーザ光を強度変調型の電気光学変調器により切り出してパルス光を発生させるパルス光の発生方法であって、電気光学変調器に印加する電圧を、電気光学変調器を透過するレーザ光の透過率が極大となるときの電気光学変調器への印加電圧を基準電圧として、基準電圧より低い電圧と高い電圧との間で変化させる駆動信号を用いて電気光学変調器を駆動して、パルス光を発生させる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)