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1. (WO2015125827) PROCÉDÉ DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE PULSÉE, DISPOSITIF LASER PULSÉ, ET DISPOSITIF D'EXPOSITION ET DISPOSITIF D'INSPECTION DOTÉ D'UN DISPOSITIF LASER PULSÉ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2015/125827 N° de la demande internationale : PCT/JP2015/054451
Date de publication : 27.08.2015 Date de dépôt international : 18.02.2015
CIB :
G02F 1/03 (2006.01) ,G02F 1/37 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01) ,H01L 21/027 (2006.01) ,H01S 3/00 (2006.01) ,H01S 3/10 (2006.01)
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
F
DISPOSITIFS OU SYSTÈMES DONT LE FONCTIONNEMENT OPTIQUE EST MODIFIÉ PAR CHANGEMENT DES PROPRIÉTÉS OPTIQUES DU MILIEU CONSTITUANT CES DISPOSITIFS OU SYSTÈMES ET DESTINÉS À LA COMMANDE DE L'INTENSITÉ, DE LA COULEUR, DE LA PHASE, DE LA POLARISATION OU DE LA DIRECTION DE LA LUMIÈRE, p.ex. COMMUTATION, OUVERTURE DE PORTE, MODULATION OU DÉMODULATION; TECHNIQUES NÉCESSAIRES AU FONCTIONNEMENT DE CES DISPOSITIFS OU SYSTÈMES; CHANGEMENT DE FRÉQUENCE; OPTIQUE NON LINÉAIRE; ÉLÉMENTS OPTIQUES LOGIQUES; CONVERTISSEURS OPTIQUES ANALOGIQUES/NUMÉRIQUES
1
Dispositifs ou systèmes pour la commande de l'intensité, de la couleur, de la phase, de la polarisation ou de la direction de la lumière arrivant d'une source de lumière indépendante, p.ex. commutation, ouverture de porte ou modulation; Optique non linéaire
01
pour la commande de l'intensité, de la phase, de la polarisation ou de la couleur
03
basés sur des céramiques ou des cristaux électro-optiques, p.ex. produisant un effet Pockels ou un effet Kerr
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
F
DISPOSITIFS OU SYSTÈMES DONT LE FONCTIONNEMENT OPTIQUE EST MODIFIÉ PAR CHANGEMENT DES PROPRIÉTÉS OPTIQUES DU MILIEU CONSTITUANT CES DISPOSITIFS OU SYSTÈMES ET DESTINÉS À LA COMMANDE DE L'INTENSITÉ, DE LA COULEUR, DE LA PHASE, DE LA POLARISATION OU DE LA DIRECTION DE LA LUMIÈRE, p.ex. COMMUTATION, OUVERTURE DE PORTE, MODULATION OU DÉMODULATION; TECHNIQUES NÉCESSAIRES AU FONCTIONNEMENT DE CES DISPOSITIFS OU SYSTÈMES; CHANGEMENT DE FRÉQUENCE; OPTIQUE NON LINÉAIRE; ÉLÉMENTS OPTIQUES LOGIQUES; CONVERTISSEURS OPTIQUES ANALOGIQUES/NUMÉRIQUES
1
Dispositifs ou systèmes pour la commande de l'intensité, de la couleur, de la phase, de la polarisation ou de la direction de la lumière arrivant d'une source de lumière indépendante, p.ex. commutation, ouverture de porte ou modulation; Optique non linéaire
35
Optique non linéaire
37
pour la génération de l'harmonique deux
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20
Exposition; Appareillages à cet effet
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
02
Fabrication ou traitement des dispositifs à semi-conducteurs ou de leurs parties constitutives
027
Fabrication de masques sur des corps semi-conducteurs pour traitement photolithographique ultérieur, non prévue dans le groupe H01L21/18 ou H01L21/34187
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
S
DISPOSITIFS UTILISANT L'ÉMISSION STIMULÉE
3
Lasers, c. à d. dispositifs pour la production, l'amplification, la modulation, la démodulation ou le changement de fréquence utilisant l'émission stimulée d'ondes infrarouges, visibles ou ultraviolettes
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
S
DISPOSITIFS UTILISANT L'ÉMISSION STIMULÉE
3
Lasers, c. à d. dispositifs pour la production, l'amplification, la modulation, la démodulation ou le changement de fréquence utilisant l'émission stimulée d'ondes infrarouges, visibles ou ultraviolettes
10
Commande de l'intensité, de la fréquence, de la phase, de la polarisation ou de la direction du rayonnement, p.ex. commutation, ouverture de porte, modulation ou démodulation
Déposants : NIKON CORPORATION[JP/JP]; 15-3, Konan 2-chome, Minato-ku, Tokyo 1086290, JP
Inventeurs : INABA, Naoto; JP
TOKUHISA, Akira; JP
Mandataire : NAGAI, Fuyuki; JP
Données relatives à la priorité :
2014-02875518.02.2014JP
Titre (EN) PULSED LIGHT GENERATION METHOD, PULSED LASER DEVICE, AND EXPOSURE DEVICE AND INSPECTION DEVICE PROVIDED WITH PULSED LASER DEVICE
(FR) PROCÉDÉ DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE PULSÉE, DISPOSITIF LASER PULSÉ, ET DISPOSITIF D'EXPOSITION ET DISPOSITIF D'INSPECTION DOTÉ D'UN DISPOSITIF LASER PULSÉ
(JA) パルス光の発生方法、パルスレーザ装置、及び該パルスレーザ装置を備えた露光装置及び検査装置
Abrégé :
(EN) A pulsed light generation method that generates pulsed light by using an intensity-modulating electro-optical modulator to chop laser light that is output from a laser light source. The pulsed light generation method generates pulsed light by driving the electro-optical modulator using a drive signal that changes the voltage applied to the electro-optical modulator between a voltage that is lower than a reference voltage and a voltage that is higher than the reference voltage, the reference voltage being the voltage that is applied to the electro-optical modulator when the transmittance of the laser light transmitted through the electro-optical modulator is at a maximum.
(FR) L'invention concerne un procédé de génération de lumière pulsée qui génère une lumière pulsée en utilisant un modulateur électro-optique à modulation d'intensité pour hacher la lumière laser qui est produite en sortie à partir d'une source de lumière laser. Le procédé de génération de lumière pulsée génère une lumière pulsée en excitant le modulateur électro-optique au moyen d'un signal d'excitation qui modifie la tension appliquée au modulateur électro-optique entre une tension qui est inférieure à une tension de référence et une tension qui est supérieure à la tension de référence, la tension de référence étant la tension qui est appliquée au modulateur électro-optique lorsque la transmittance de la lumière laser transmise à travers le modulateur électro-optique est à un maximum.
(JA)  パルス光の発生方法は、レーザ光源から出力されたレーザ光を強度変調型の電気光学変調器により切り出してパルス光を発生させるパルス光の発生方法であって、電気光学変調器に印加する電圧を、電気光学変調器を透過するレーザ光の透過率が極大となるときの電気光学変調器への印加電圧を基準電圧として、基準電圧より低い電圧と高い電圧との間で変化させる駆動信号を用いて電気光学変調器を駆動して、パルス光を発生させる。
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)