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1. (WO2015125520) PELLICULE MINCE FERROÉLECTRIQUE, SUBSTRAT À PELLICULE MINCE PIÉZOÉLECTRIQUE, ACTIONNEUR PIÉZOÉLECTRIQUE, TÊTE DE JET D'ENCRE, IMPRIMANTE À JET D'ENCRE ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE PELLICULE MINCE FERROÉLECTRIQUE

Pub. No.:    WO/2015/125520    International Application No.:    PCT/JP2015/050861
Publication Date: Fri Aug 28 01:59:59 CEST 2015 International Filing Date: Fri Jan 16 00:59:59 CET 2015
IPC: H01L 41/187
B41J 2/14
C01G 25/00
C23C 14/08
H01L 21/316
H01L 41/09
H01L 41/316
H01L 41/319
Applicants: KONICA MINOLTA , INC.
コニカミノルタ株式会社
Inventors: MAWATARI Kenji
馬渡 健児
Title: PELLICULE MINCE FERROÉLECTRIQUE, SUBSTRAT À PELLICULE MINCE PIÉZOÉLECTRIQUE, ACTIONNEUR PIÉZOÉLECTRIQUE, TÊTE DE JET D'ENCRE, IMPRIMANTE À JET D'ENCRE ET PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE PELLICULE MINCE FERROÉLECTRIQUE
Abstract:
La présente invention concerne une pellicule mince ferroélectrique qui est constituée de zirconate-titanate de plomb et de lanthane. Dans cette pellicule mince ferroélectrique, le ratio (a) de lanthane par rapport à la somme de plomb et de lanthane est compris entre 6 % et 8 % (inclus) sur une base molaire, et le ratio (b) de zirconium par rapport à la somme de zirconium et de titane est compris entre 54 % et 59 % (inclus) sur une base molaire.