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1. (WO2015124589) DISPOSITIF POUR DÉPOSER UN MATÉRIAU PAR DÉPÔT PAR LASER PULSÉ ET PROCÉDÉ DE DÉPÔT D'UN MATÉRIAU AU MOYEN DU DISPOSITIF

Pub. No.:    WO/2015/124589    International Application No.:    PCT/EP2015/053356
Publication Date: Fri Aug 28 01:59:59 CEST 2015 International Filing Date: Thu Feb 19 00:59:59 CET 2015
IPC: C23C 14/28
C23C 14/50
Applicants: SOLMATES B.V.
Inventors: DEKKERS, Jan Matthijn
JANSSENS, Jan Arnaud
Title: DISPOSITIF POUR DÉPOSER UN MATÉRIAU PAR DÉPÔT PAR LASER PULSÉ ET PROCÉDÉ DE DÉPÔT D'UN MATÉRIAU AU MOYEN DU DISPOSITIF
Abstract:
L'invention concerne un dispositif permettant de déposer un matériau par dépôt par laser pulsé, le dispositif comprenant : - une chambre à vide ; - au moins un support de substrat comprenant un substrat, disposé à l'intérieur de la chambre à vide, le substrat ayant une première, une deuxième et une troisième direction, les trois directions étant chacune perpendiculaires entre elles, le substrat pouvant être déplacé par le support de substrat dans la première direction ; - un support de cible comprenant une cible, disposé à l'intérieur de la chambre à vide, la cible s'étendant sur sensiblement toute la longueur dans la deuxième direction du substrat et parallèlement au substrat ; - au moins un laser destiné à irradier la cible, ce qui permet de créer un plasma de matériau qui se dépose sur le substrat, la position d'incidence du laser sur la cible étant mobile parallèlement à la deuxième direction du substrat ; et - un dispositif de commande destiné à commander le déplacement du support de substrat et le déplacement de la position d'incidence du laser sur la cible.