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1. (WO2015124471) SOUS-ENSEMBLE D'UN SYSTÈME OPTIQUE, EN PARTICULIER DANS UN APPAREIL D'EXPOSITION PAR PROJECTION MICROLITHOGRAPHIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/124471    N° de la demande internationale :    PCT/EP2015/052825
Date de publication : 27.08.2015 Date de dépôt international : 11.02.2015
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen (DE) (AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BE, BF, BG, BH, BJ, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CF, CG, CH, CI, CL, CM, CN, CO, CR, CU, CY, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, FR, GA, GB, GD, GE, GH, GM, GN, GQ, GR, GT, GW, HN, HR, HU, ID, IE, IL, IN, IR, IS, IT, JP, KE, KG, KM, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LV, LY, MA, MC, MD, ME, MG, MK, ML, MN, MR, MT, MW, MX, MY, MZ, NA, NE, NG, NI, NL, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SI, SK, SL, SM, SN, ST, SV, SY, SZ, TD, TG, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW only).
SCHWERTNER, Tilman [DE/DE]; (DE) (US only).
FIGUEREDO, Stacy [US/DE]; (DE) (US only)
Inventeurs : SCHWERTNER, Tilman; (DE).
FIGUEREDO, Stacy; (DE)
Mandataire : FRANK, Hartmut; (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2014 203 144.3 21.02.2014 DE
Titre (EN) SUBASSEMBLY OF AN OPTICAL SYSTEM, IN PARTICULAR IN A MICROLITHOGRAPHIC PROJECTION EXPOSURE APPARATUS
(FR) SOUS-ENSEMBLE D'UN SYSTÈME OPTIQUE, EN PARTICULIER DANS UN APPAREIL D'EXPOSITION PAR PROJECTION MICROLITHOGRAPHIQUE
Abrégé : front page image
(EN)The invention concerns a subassembly of an optical system, in particular in a microlithographic projection exposure apparatus, with an element (10, 20, 30, 40, 50, 60, 70) and at least one temperature-controlling device for controlling the temperature of this element, this temperature-controlling device having a cooling medium in a closed circuit with at least one tube-like portion, this cooling medium being transportable away from the element or to the element in the tube-like portion while performing a two-phase transition, and a heating device (15, 25) being provided for interrupting the transport of the cooling medium by heating up the cooling medium.
(FR)L'invention concerne un sous-ensemble d'un système optique, en particulier dans un appareil d'exposition par projection microlithographique, doté d un élément (10, 20, 30, 40, 50, 60, 70) et d'au moins un dispositif de commande de température pour commander la température de cet élément, ce dispositif de commande de température ayant un agent de refroidissement dans un circuit fermé avec au moins une partie en forme de tube, cet agent de refroidissement étant transportable à l'opposé de l'élément ou vers l'élément dans la partie en forme de tube tout en effectuant une transition à deux phases, et un dispositif de chauffage (15, 25) étant disposé pour interrompre le transport de l'agent de refroidissement par chauffage de l'agent de refroidissement.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)