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1. (WO2015124397) OPTIMISATION D'AGENCEMENT DE CIBLE ET CIBLE ASSOCIÉE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/124397    N° de la demande internationale :    PCT/EP2015/051796
Date de publication : 27.08.2015 Date de dépôt international : 29.01.2015
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), G01N 21/93 (2006.01), G01N 21/956 (2006.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven (NL)
Inventeurs : VAN BUEL, Henricus, Wilhelmus, Maria; (NL).
BELTMAN, Johannes, Marcus, Maria; (NL).
LIU, Xing, Lan; (NL).
SMILDE, Hendrik, Jan, Hidde; (NL).
VAN HAREN, Richard, Johannes, Franciscus; (NL)
Mandataire : BROEKEN, Petrus; (NL)
Données relatives à la priorité :
14156125.8 21.02.2014 EP
Titre (EN) OPTIMIZATION OF TARGET ARRANGEMENT AND ASSOCIATED TARGET
(FR) OPTIMISATION D'AGENCEMENT DE CIBLE ET CIBLE ASSOCIÉE
Abrégé : front page image
(EN)Disclosed is a method of devising a target arrangement, and associated target and reticle. The target comprises a plurality of gratings, each grating comprising a plurality of substructures. The method comprises the steps of: defining a target area; locating the substructures within the target area so as to form the gratings; and locating assist features at the periphery of the gratings, the assist features being configured to reduce measured intensity peaks at the periphery of the gratings. The method may comprise an optimization process comprising modelling a resultant image obtained by inspection of the target using a metrology process; and evaluating whether the target arrangement is optimized for detection using a metrology process.
(FR)L'invention concerne un procédé de conception d'un agencement de cible, ainsi qu'une cible et un réticule associés. La cible comprend une pluralité de réseaux, chaque réseau comprenant une pluralité de sous-structures. Le procédé comprend les étapes consistant à : définir une zone de cible; localiser les sous-structures à l'intérieur de la zone de cible de façon à former les réseaux; et localiser des caractéristiques d'assistance au niveau de la périphérie des réseaux, les caractéristiques d'assistance étant configurées pour réduire les pics d'intensité mesurés au niveau de la périphérie des réseaux. Le procédé peut comprendre un processus d'optimisation consistant à modéliser une image résultante obtenue par l'inspection de la cible à l'aide d'un processus de métrologie, et évaluer si la l'agencement de cible est optimisé pour la détection au moyen d'un processus de métrologie.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)