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1. (WO2015123109) MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE À TRAJECTOIRE DE LIQUIDE DE REFROIDISSEMENT MULTI-NIVEAU À DÉBIT MASSIQUE CONSTANT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/123109    N° de la demande internationale :    PCT/US2015/014819
Date de publication : 20.08.2015 Date de dépôt international : 06.02.2015
CIB :
H01L 21/67 (2006.01)
Déposants : AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; Attn: Denis A. Robitaille 108 Cherry Hill Drive Beverly, Massachusetts 01915 (US)
Inventeurs : LEE, William Davis; (US)
Données relatives à la priorité :
14/178,795 12.02.2014 US
Titre (EN) CONSTANT MASS FLOW MULTI-LEVEL COOLANT PATH ELECTROSTATIC CHUCK
(FR) MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE À TRAJECTOIRE DE LIQUIDE DE REFROIDISSEMENT MULTI-NIVEAU À DÉBIT MASSIQUE CONSTANT
Abrégé : front page image
(EN)A workpiece support has a vessel having a top interior wall and a bottom interior wall. An interior cavity is defined between the top interior wall and bottom interior wall, wherein a support surface configured to support a workpiece. A plate is positioned within the interior cavity, dividing the interior cavity into a top cavity and a bottom cavity. The top and bottom cavities are fluidly coupled about a periphery of the plate. A first taper defined in one or more of the top interior wall and a top portion of the plate provides a substantially constant volume across a radial cross-section of the top cavity. A second taper defined in one or more of the bottom interior wall and a bottom portion of the plate provides a substantially constant volume across a radial cross-section of the bottom cavity. First and second ports fluidly couple the top and bottom cavities to respective first and second fluid channels.
(FR)L'invention concerne un support de pièce de travail comportant un récipient possédant une paroi intérieure supérieure et une paroi intérieure inférieure. Une cavité intérieure est définie entre la paroi intérieure supérieure et la paroi intérieure inférieure, une surface de support étant conçue pour supporter une pièce de travail. Une plaque est positionnée à l'intérieur de la cavité intérieure, divisant la cavité intérieure en une cavité supérieure et une cavité inférieure. Les cavités supérieure et inférieure sont couplées fluidiquement autour d'une périphérie de la plaque. Un premier biseau défini dans un ou plusieurs éléments parmi la paroi intérieure supérieure et une partie supérieure de la plaque fournit un volume sensiblement constant à travers une section transversale radiale de la cavité supérieure. Un second biseau défini dans un ou plusieurs éléments parmi la paroi intérieure inférieure et une partie inférieure de la plaque fournit un volume sensiblement constant à travers une section transversale radiale de la cavité inférieure. Des premier et second orifices couplent fluidiquement les cavités supérieure et inférieure aux premier et second canaux de fluide respectifs.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)