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1. (WO2015123000) RÉGLAGE DE MESURES DE COURANT DE FOUCAULT

Pub. No.:    WO/2015/123000    International Application No.:    PCT/US2015/012281
Publication Date: Fri Aug 21 01:59:59 CEST 2015 International Filing Date: Thu Jan 22 00:59:59 CET 2015
IPC: H01L 21/304
H01L 21/66
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: XU, Kun
CARLSSON, Ingemar
SWEDEK, Boguslaw A.
BENNETT, Doyle E.
SHEN, Shih-Haur
IRAVANI, Hassan G.
TU, Wen-Chiang
LIU, Tzu-Yu
Title: RÉGLAGE DE MESURES DE COURANT DE FOUCAULT
Abstract:
Entre autres, un procédé de commande de polissage pendant un processus de polissage est décrit. Le procédé comprend la réception d'une mesure d'une épaisseur, épaisseur(t), d'une couche conductrice d'un substrat subissant un polissage à partir d'un système de surveillance in situ à un moment t; la réception d'une température mesurée, T(t), associée à la couche conductrice au moment t; le calcul de la résistivité pT de la couche conductrice à la température mesurée T(t) ; le réglage de la mesure de l'épaisseur à l'aide de la résistivité calculée pT pour générer une épaisseur mesurée réglée ; et la détection d'un point final de polissage ou d'un réglage pour un paramètre de polissage sur la base de l'épaisseur mesurée réglée.