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1. (WO2015122977) PROCÉDÉ D'INJECTION DE GAZ PRÉCURSEUR ÉTENDU

Pub. No.:    WO/2015/122977    International Application No.:    PCT/US2015/010876
Publication Date: Fri Aug 21 01:59:59 CEST 2015 International Filing Date: Sat Jan 10 00:59:59 CET 2015
IPC: H01L 21/02
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: HAMMOND, Edward P., IV
TANAKA, Tsutomu
RUHLAND, Eric
LANE, Christopher T.
PONNEKANTI, Hari K.
Title: PROCÉDÉ D'INJECTION DE GAZ PRÉCURSEUR ÉTENDU
Abstract:
La présente invention se rapporte, selon des modes de réalisation, à la distribution de précurseurs à travers une source de plasma linéaire dans une chambre de traitement formée dans des outils de traitement en ligne. Selon un mode de réalisation de la présente invention, un premier gaz de traitement est introduit de sorte à être plus proche d'un plan de substrat, où un traitement tel que le dépôt d'un film diélectrique est censé se produire, que d'un orifice de sortie de buse dans lequel est introduit un second gaz de traitement.