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1. (WO2015122877) FUSIBLE INTÉGRÉ À REMPLISSAGE CONDUCTEUR

Pub. No.:    WO/2015/122877    International Application No.:    PCT/US2014/015815
Publication Date: Fri Aug 21 01:59:59 CEST 2015 International Filing Date: Wed Feb 12 00:59:59 CET 2014
IPC: H01L 23/62
Applicants: INTEL CORPORATION
LEE, Chen-Guan
HAFEZ, Walid M
JAN, Chia-Hong
Inventors: LEE, Chen-Guan
HAFEZ, Walid M
JAN, Chia-Hong
Title: FUSIBLE INTÉGRÉ À REMPLISSAGE CONDUCTEUR
Abstract:
L'invention concerne des structures de fusible intégré et des techniques de fabrication. Un fusible intégré peut comporter une ligne conductrice non plane comportant deux parties à z élevé s'étendant jusqu'à une plus grande hauteur z qu'une partie à z faible disposée entre ces dernières, ayant une capacité de transport de courant réduite . Un diélectrique disposé sur la partie à z faible présente une surface supérieure coplanaire avec les parties de ligne à z élevé sur lesquelles des contacts de fusible peuvent être posés. La fabrication d'un fusible intégré peut consister à effectuer une gravure sous-jacente d'une région d'un premier matériau diélectrique disposé sur un substrat. La région de gravure sous-jacente est revêtue d'un second matériau diélectrique. Une paire d'extrémités de fusible électriquement jointes sont formées par remplissage, avec un matériau conducteur, de la région de gravure sous-jacente revêtue. Dans des modes de réalisation avantageux, la fabrication du fusible est compatible avec des flux de fabrication de transistors à grille métallique à constante diélectrique élevée et de résistances en silicium polycristallin de précision.