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1. (WO2015122471) UNITÉ D'INSPECTION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/122471    N° de la demande internationale :    PCT/JP2015/053866
Date de publication : 20.08.2015 Date de dépôt international : 12.02.2015
CIB :
G01R 31/26 (2014.01), H01R 13/24 (2006.01), H01R 33/76 (2006.01)
Déposants : NHK SPRING CO., LTD. [JP/JP]; 3-10, Fukuura, Kanazawa-ku, Yokohama-shi, Kanagawa 2360004 (JP)
Inventeurs : HIRONAKA, Kohei; (JP).
NIDAIRA, Takashi; (JP).
YONEDA, Tomohiro; (JP)
Mandataire : SAKAI, Hiroaki; (JP)
Données relatives à la priorité :
2014-025958 13.02.2014 JP
Titre (EN) INSPECTION UNIT
(FR) UNITÉ D'INSPECTION
(JA) 検査ユニット
Abrégé : front page image
(EN)An inspection unit according to the present invention is provided with: first contact probes which are brought into contact with electrodes provided to a front surface of one object to be contacted, and which are brought into contact with electrodes of another object to be contacted; second contact probes which are brought into contact with electrodes provided to a rear surface of the one object to be contacted, and which are brought into contact with electrodes of a substrate; a first probe holder which accommodates and holds the plurality of first contact probes, and which is provided with a suction-holding unit that applies suction to and holds the one object to be contacted; a second probe holder which accommodates and holds the plurality of second contact probes; and a base part which is stacked upon the first probe holder, and which holds, at a side thereof that is stacked upon the first probe holder, the other object to be contacted. A gap is formed between the first probe holder and the other object to be contacted.
(FR)La présente invention concerne une unité d'inspection comprenant : des première sondes de contact qui sont amenées en contact avec des électrodes disposées sur une surface avant d'un objet avec lequel établir le contact et qui sont amenées en contact avec des électrodes d'un autre objet avec lequel établir le contact ; des deuxième sondes de contact qui sont amenées en contact avec des électrodes disposées sur une surface arrière du premier objet avec lequel établir le contact et qui sont amenées en contact avec des électrodes d'un substrat ; un premier porte-sonde qui accueille et maintient la pluralité de premières sondes de contact, et qui est muni d'une unité de maintien par aspiration qui applique une aspiration au premier objet avec lequel établir le contact et le maintient ; un deuxième porte-sonde qui accueille et maintient la pluralité de deuxièmes sondes de contact ; et une partie de base qui est empilée sur le premier porte-sonde et qui maintient l'autre objet avec lequel établir le contact sur un côté de celui-ci qui est empilé sur le premier porte-sonde. Un interstice est formé entre le premier porte-sonde et l'autre objet avec lequel établir le contact.
(JA) 本発明にかかる検査ユニットは、一方の接触対象物の表面に設けられた電極と接触するとともに、他方の接触対象物の電極と接触する第1のコンタクトプローブと、一方の接触対象物の裏面に設けられた電極と接触するとともに、基板の電極と接触する第2のコンタクトプローブと、一方の接触対象物を吸着して保持する吸着保持部を有するとともに、複数の第1のコンタクトプローブを収容して保持する第1のプローブホルダと、複数の第2のコンタクトプローブを収容して保持する第2のプローブホルダと、第1のプローブホルダに積層されるとともに、第1のプローブホルダとの積層側で他方の接触対象物を保持するベース部と、を備え、他方の接触対象物と第1のプローブホルダとの間には、隙間が形成されている。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)