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1. (WO2015122417) OXYDE FRITTÉ ET CIBLE DE PULVÉRISATION CATHODIQUE

Pub. No.:    WO/2015/122417    International Application No.:    PCT/JP2015/053710
Publication Date: Fri Aug 21 01:59:59 CEST 2015 International Filing Date: Wed Feb 11 00:59:59 CET 2015
IPC: C04B 35/00
C04B 35/457
C23C 14/34
H01L 21/363
Applicants: KOBELCO RESEARCH INSTITUTE, INC.
株式会社コベルコ科研
KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO (KOBE STEEL, LTD.)
株式会社神戸製鋼所
Inventors: TAO Yuki
田尾 幸樹
HATA Hideo
畠 英雄
HIROSE Kenta
廣瀬 研太
JIKO Norihiro
慈幸 範洋
OCHI Mototaka
越智 元隆
Title: OXYDE FRITTÉ ET CIBLE DE PULVÉRISATION CATHODIQUE
Abstract:
La présente invention concerne un oxyde fritté obtenu par frittage de l'oxyde d'indium, de l'oxyde de gallium, et de l'oxyde d'étain, de densité relative d'au moins 90 %, de rapport inférieur à 10 % de grains cristallins grossiers ayant un diamètre moyen de grain cristallin compris entre 3 et 10 µm dans la phase Ga2In6Sn2O16, de proportion en In, Ga et Sn, par rapport à la quantité totale d'éléments métalliques, satisfaisant à 35% at. ≤ [In] ≤ 50% at., 20% at. [Ga] ≤ 35% at., 20% at. < [Sn] ≤ 40% at., et comportant une phase Ga3InSn5O16 pour laquelle 0,02 ≤ [Ga3InSn5O16] ≤ 0,2.