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1. (WO2015122250) COMPOSITION LIQUIDE DE GRAVURE D'OXYDES COMPRENANT L'INDIUM, LE ZINC, L'ÉTAIN ET DE L'OXYGÈNE, ET PROCÉDÉ DE GRAVURE

Pub. No.:    WO/2015/122250    International Application No.:    PCT/JP2015/051498
Publication Date: Fri Aug 21 01:59:59 CEST 2015 International Filing Date: Thu Jan 22 00:59:59 CET 2015
IPC: H01L 21/308
C09K 13/04
C09K 13/06
Applicants: MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC.
三菱瓦斯化学株式会社
Inventors: SHIGETA Mari
茂田 麻里
YUBE Kunio
夕部 邦夫
Title: COMPOSITION LIQUIDE DE GRAVURE D'OXYDES COMPRENANT L'INDIUM, LE ZINC, L'ÉTAIN ET DE L'OXYGÈNE, ET PROCÉDÉ DE GRAVURE
Abstract:
La présente invention se rapporte à une composition liquide de gravure présentant une vitesse de gravure appropriée pendant la gravure d'oxydes comprenant l'indium, le zinc, l'étain et de l'oxygène, peu de changement dans la vitesse de gravure lors de la dissolution des oxydes, sensiblement aucune formation de précipités, et une corrosivité négligeable pour un matériau de câblage. La présente invention utilise une composition liquide de gravure qui comprend de l'eau et au moins un type sélectionné dans un groupe comprenant (A) de l'acide sulfurique, de l'acide méthane sulfonique, ou un sel de ceux-ci, et présente une valeur de pH comprise entre 1 et 3.