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1. (WO2015121952) DISPOSITIF DE DÉTECTION

Pub. No.:    WO/2015/121952    International Application No.:    PCT/JP2014/053392
Publication Date: Fri Aug 21 01:59:59 CEST 2015 International Filing Date: Sat Feb 15 00:59:59 CET 2014
IPC: G01N 21/956
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
株式会社 日立ハイテクノロジーズ
Inventors: HAMAMATSU Akira
浜松 玲
KONDO Takanori
近藤 貴則
TAKAHASHI Kazuo
高橋 和夫
Title: DISPOSITIF DE DÉTECTION
Abstract:
L'invention est motivée par le fait que la taille des semi-conducteurs est devenue de plus en plus petite par rapport aux dispositifs conventionnels. Ainsi, la détection de défauts plus petits, ou en d'autres termes une sensibilité accrue, est exigée des dispositifs de détection. Une approche d'accroissement de la sensibilité est d'améliorer le traitement de données. Cependant, avec les techniques conventionnelles, il n'est pas possible de parvenir à un traitement de données suffisamment approprié à l'accroissement de la sensibilité. Une caractéristique de la présente invention est qu'une pluralité de pistes de données sont obtenues, et qu'un filtrage de corrélation bidimensionnel est effectué sur les données. La présente invention permet de détecter des défauts plus petits qu'avec les dispositifs conventionnels.