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1. (WO2015121952) DISPOSITIF DE DÉTECTION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2015/121952 N° de la demande internationale : PCT/JP2014/053392
Date de publication : 20.08.2015 Date de dépôt international : 14.02.2014
Demande présentée en vertu du Chapitre 2 : 05.09.2014
CIB :
G01N 21/956 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
N
RECHERCHE OU ANALYSE DES MATÉRIAUX PAR DÉTERMINATION DE LEURS PROPRIÉTÉS CHIMIQUES OU PHYSIQUES
21
Recherche ou analyse des matériaux par l'utilisation de moyens optiques, c. à d. en utilisant des rayons infrarouges, visibles ou ultraviolets
84
Systèmes spécialement adaptés à des applications particulières
88
Recherche de la présence de criques, de défauts ou de souillures
95
caractérisée par le matériau ou la forme de l'objet à analyser
956
Inspection de motifs sur la surface d'objets
Déposants :
株式会社 日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
Inventeurs :
浜松 玲 HAMAMATSU Akira; JP
近藤 貴則 KONDO Takanori; JP
高橋 和夫 TAKAHASHI Kazuo; JP
Mandataire :
井上 学 INOUE Manabu; 東京都千代田区丸の内一丁目6番1号 株式会社日立製作所内 c/o HITACHI, LTD., 6-1, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1008220, JP
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) DETECTION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE DÉTECTION
(JA) 検査装置
Abrégé :
(EN) The size of semiconductors has been becoming increasingly smaller compared to conventional devices. Thus, detection of smaller defects, or in other words, increased sensitivity is demanded of detection devices. One approach to increase sensitivity is to improve data processing. However, with conventional techniques, it is not possible to sufficiently achieve data processing suitable for increasing sensitivity. One characteristic of the present invention is that a plurality of tracks of data are obtained, and two-dimensional correlation filtering is performed on the data. It is possible to detect smaller defects with the present invention than with conventional devices.
(FR) L'invention est motivée par le fait que la taille des semi-conducteurs est devenue de plus en plus petite par rapport aux dispositifs conventionnels. Ainsi, la détection de défauts plus petits, ou en d'autres termes une sensibilité accrue, est exigée des dispositifs de détection. Une approche d'accroissement de la sensibilité est d'améliorer le traitement de données. Cependant, avec les techniques conventionnelles, il n'est pas possible de parvenir à un traitement de données suffisamment approprié à l'accroissement de la sensibilité. Une caractéristique de la présente invention est qu'une pluralité de pistes de données sont obtenues, et qu'un filtrage de corrélation bidimensionnel est effectué sur les données. La présente invention permet de détecter des défauts plus petits qu'avec les dispositifs conventionnels.
(JA)  半導体の寸法は従来に比べ微細化する方向にある。よって、検査装置にはより小さな欠陥を検出すること、他の表現としては高感度化が要求される。高感度化のための1つのアプローチはデータ処理を改善することである。しかし、高感度化に適したデータ処理を従来技術では十分に見いだせていない。本発明は、複数のトラックのデータを得て、前記データに対して2次元相関フィルタリングを行うことを1つの特徴とする。本発明によれば従来よりも微小な欠陥を検出することができる。
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Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)