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1. (WO2015121520) DISPOSITIF MULTIPLICATEUR D'ÉLECTRONS MICROMÉCANISÉ POUR LA DÉTECTION DE PARTICULES IONISANTES, SYSTÈME DE DÉTECTION DE PARTICULES IONISANTES ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DU DISPOSITIF

Pub. No.:    WO/2015/121520    International Application No.:    PCT/ES2015/070082
Publication Date: Fri Aug 21 01:59:59 CEST 2015 International Filing Date: Wed Feb 11 00:59:59 CET 2015
IPC: B81B 1/00
B81C 1/00
H01J 47/02
G01T 1/16
Applicants: CONSEJO SUPERIOR DE INVESTIGACIONES CIENTÍFICAS (CSIC)
CENTRO BRASILEÑO DE INVESTIGACIONES FÍSICAS
Inventors: CAMPANELLA PINEDA, Humberto
LOZANO FANTOBA, Manuel
CABRUJA CASAS, Enric
ESTEVE TINTO, Jaume
BRANT DE CAMPOS, Jose
CERQUEIRA GOMES, Gabriela
PESSOA LIMA JUNIOR, Herman
Title: DISPOSITIF MULTIPLICATEUR D'ÉLECTRONS MICROMÉCANISÉ POUR LA DÉTECTION DE PARTICULES IONISANTES, SYSTÈME DE DÉTECTION DE PARTICULES IONISANTES ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DU DISPOSITIF
Abstract:
L'invention concerne un dispositif multiplicateur (1) d'électrons micromécanisé et empilable pour la détection de particules ionisantes qui comprend un substrat solide avec une cavité centrale micromécanisée (14) au centre de la face inférieure du substrat définissant un contour périphérique de support du substrat (12) autour de la cavité et une pluralité d'orifices traversants micromécanisés (13) situés en alignement avec la cavité (14); une première couche diélectrique isolante (17) déposée sur toutes les surfaces du substrat solide; une première électrode métallique de polarisation (15) située sur la couche supérieure de la première couche électrique isolante (17); et une deuxième électrode métallique de polarisation (16) située sur la face inférieure de la première couche électrique isolante (17).