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1. (WO2015120265) MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION

Pub. No.:    WO/2015/120265    International Application No.:    PCT/US2015/014810
Publication Date: Fri Aug 14 01:59:59 CEST 2015 International Filing Date: Sat Feb 07 00:59:59 CET 2015
IPC: H01L 21/683
H02N 13/00
Applicants: ENTEGRIS, INC.
Inventors: COOKE, Richard, A.
NEFF, Wolfram
WALDFRIED, Carlo
RYBCZYNSKI, Jakub
HANAGAN, Michael
KRULL, Wade
Title: MANDRIN ÉLECTROSTATIQUE ET SON PROCÉDÉ DE FABRICATION
Abstract:
La présente invention concerne un mandrin électrostatique comprenant un élément structural en céramique, au moins une électrode disposée sur l'élément structural en céramique, et une couche diélectrique de surface disposée sur ladite électrode, la couche de surface étant activée par une tension dans l'électrode de sorte à former une charge électrique destinée à bloquer de manière électrostatique un substrat sur le mandrin électrostatique. La couche diélectrique de surface comprend : (i) une couche isolante d'alumine amorphe, d'une épaisseur inférieure à environ 5 microns, disposée au-dessus de ladite électrode; et (ii) un empilement de couches diélectriques disposées au-dessus de la couche isolante. L'empilement de couches diélectriques comprend : (a) au moins une couche diélectrique comprenant de l'oxynitrure d'aluminium; et (b) au moins une couche diélectrique comprenant de l'oxyde de silicium et/ou de l'oxynitrure de silicium.