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1. (WO2015119787) PROCÉDÉ CONSISTANT À DIRIGER DES CHAMPS MAGNÉTIQUES DANS UNE SOURCE DE PLASMA, ET SYSTÈMES ASSOCIÉS

Pub. No.:    WO/2015/119787    International Application No.:    PCT/US2015/012607
Publication Date: Fri Aug 14 01:59:59 CEST 2015 International Filing Date: Sat Jan 24 00:59:59 CET 2015
IPC: H05H 1/24
H05H 1/34
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: YE, Zheng John
PINSON, Jay D., II
HANAWA, Hiroji
ROCHA-ALVAREZ, Juan Carlos
Title: PROCÉDÉ CONSISTANT À DIRIGER DES CHAMPS MAGNÉTIQUES DANS UNE SOURCE DE PLASMA, ET SYSTÈMES ASSOCIÉS
Abstract:
L'invention concerne une source de plasma qui inclut une ampoule de plasma qui inclut un matériau diélectrique qui ceint une cavité de forme toroïdale. La forme toroïdale définit un axe toroïdal à travers lui. L'ampoule forme des raccordements d'entrée et de sortie, chacun des raccordements d'entrée et de sortie étant en communication fluidique avec la cavité. Une ou plusieurs plaque(s) de métal est/sont disposée(s) de manière adjacente à l'ampoule de plasma pour le refroidissement de l'ampoule de plasma. Un noyau magnétique est disposé le long de l'axe toroïdal de sorte que des première et seconde extrémités respectives du noyau magnétique s'étendent au-delà de côtés axialement opposés de l'ampoule de plasma. Des première et seconde bobines d'induction sont enroulées autour des première et seconde extrémités respectives du noyau magnétique. Un plasma est généré dans la cavité quand un gaz d'entrée est introduit à travers le raccordement d'entrée et un courant électrique oscillant est appliqué aux première et seconde bobines d'induction.