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1. (WO2015119697) PHOTODÉTECTEUR POSSÉDANT UNE STRUCTURE À RÉSONANCE PLASMONIQUE ET UNE STRUCTURE DE CRISTAL PHOTONIQUE POUR LA SUPPRESSION DU BRUIT THERMIQUE

Pub. No.:    WO/2015/119697    International Application No.:    PCT/US2014/066057
Publication Date: Fri Aug 14 01:59:59 CEST 2015 International Filing Date: Wed Nov 19 00:59:59 CET 2014
IPC: H01L 31/0232
H01L 31/0352
H01L 31/101
H01L 31/109
H01L 27/144
Applicants: RAYTHEON COMPANY
Inventors: SMITH, Edward, P.
ITSUNO, Anne
WEHNER, Justin, Gordon Adams
Title: PHOTODÉTECTEUR POSSÉDANT UNE STRUCTURE À RÉSONANCE PLASMONIQUE ET UNE STRUCTURE DE CRISTAL PHOTONIQUE POUR LA SUPPRESSION DU BRUIT THERMIQUE
Abstract:
L'invention concerne un photodétecteur (110) qui possède une structure de cristal photonique (200) destinée à absorber les photons qui passent perpendiculairement à une surface du photodétecteur et une structure à résonance plasmonique (206) destinée à absorber les photons qui passent le long de la surface du photodétecteur. Grâce à la structure de cristal photonique (200), le volume du détecteur dans le plan X et le plan Y peut être réduit. La structure à résonance plasmonique (206) permet de réduire le volume du détecteur dans le plan Z. La réduction du volume tridimensionnel ainsi obtenue donne lieu à un courant d'obscurité plus faible et supprime le bruit thermique.