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1. (WO2015118927) PARTICULE ABRASIVE DE POLISSAGE, SON PROCÉDÉ DE PRODUCTION, PROCÉDÉ DE POLISSAGE, DISPOSITIF DE POLISSAGE, ET BOUILLIE

Pub. No.:    WO/2015/118927    International Application No.:    PCT/JP2015/051175
Publication Date: Fri Aug 14 01:59:59 CEST 2015 International Filing Date: Tue Jan 20 00:59:59 CET 2015
IPC: C09K 3/14
B24B 1/00
B24B 37/00
C09G 1/02
H01L 21/304
Applicants: ASAHI KASEI KOGYO CO.,LTD.
アサヒ化成工業株式会社
Inventors: FUJIMOTO Shunichi
藤本 俊一
YAMASHITA Tetsuji
山下 哲二
Title: PARTICULE ABRASIVE DE POLISSAGE, SON PROCÉDÉ DE PRODUCTION, PROCÉDÉ DE POLISSAGE, DISPOSITIF DE POLISSAGE, ET BOUILLIE
Abstract:
L'invention a pour but de polir la surface d'une matière objet à une vitesse d'élimination élevée et en une surface de qualité élevée. À cet effet, selon l'invention, la matière objet est polie par polissage humide. Une bouillie comprend des particules abrasives de polissage dispersées dans de l'eau pure. Chacune des particules abrasives de polissage comprend un constituant qui exerce une action mécano-chimique, un constituant qui réagit à la chaleur de frottement générée lors du polissage de la matière objet, et similaires, intégrés en une particule entièrement. Les constituants sont liés directement l'un à l'autre par alliage mécanique tandis que chacun conserve les propriétés inhérentes des substances dans les constituants individuels. L'utilisation de cette bouillie dans un procédé de rodage pour le saphir, le carbure de silicium, le nitrure de gallium, et similaires, amène le temps de polissage à être beaucoup plus court que de façon classique, et amène les coûts de traitement à être réduits de manière significative. La qualité de la surface polie est élevée. La particule abrasive de polissage peut être utilisé de manière répétée pour le polissage. Que le pH de la suspension est de l'ordre de 3 à 9, il n'y a aucun impact sur l'environnement de la zone de travail de polissage, et le traitement de déchets liquides est simple.