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1. (WO2015118095) PROCÉDÉ DE DÉTECTION D'ARC DANS UN TRAITEMENT AU PLASMA ET BLOC D'ALIMENTATION D'UNE QUANTITÉ DE SORTIE POUR UN TRAITEMENT AU PLASMA
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/118095    N° de la demande internationale :    PCT/EP2015/052483
Date de publication : 13.08.2015 Date de dépôt international : 06.02.2015
CIB :
H01J 37/32 (2006.01)
Déposants : TRUMPF HUETTINGER SP. Z O.O. [PL/PL]; Ul-Marecka St. 47 PL-05-220 Zielonka (PL)
Inventeurs : GIERALTOWSKI, Andrzej; (PL).
KOLASINSKI, Piotr; (PL).
LACH, Piotr; (PL).
ZELECHOWSKI, Marcin; (PL)
Mandataire : NITSCHKE, Moritz; (DE)
Données relatives à la priorité :
14461507.7 07.02.2014 EP
Titre (EN) METHOD OF DETECTING ARCS IN A PLASMA PROCESS AND POWER SUPPLY FOR SUPPLYING AN OUTPUT QUANTITY TO A PLASMA PROCESS
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTECTION D'ARC DANS UN TRAITEMENT AU PLASMA ET BLOC D'ALIMENTATION D'UNE QUANTITÉ DE SORTIE POUR UN TRAITEMENT AU PLASMA
Abrégé : front page image
(EN)In a method of detecting arcs in a plasma process which is supplied by a power supply (1) with an output quantity (Uout, Iout, Pout), wherein the output quantity (Uout, Iout, Pout) is compared with an arc detection threshold value (Iarc_thres, Uarc_thres) and an arc is detected if the output quantity (Uout, Iout, Pout) passes the arc detection threshold value (Iarc_thres, Uarc_thres), wherein the arc detection threshold value (Iarc_thres, Uarc_thres) is determined based on at least one set point (Iset, Uset, Pset) for an output quantity.
(FR)Cette invention concerne un procédé de détection d'arc dans un traitement au plasma qui est alimenté par un bloc d'alimentation (1) en une quantité de sortie (Uout, Iout, Pout), ladite quantité de sortie (Uout, Iout, Pout) étant comparée à une valeur seuil de détection d'arc (Iarc_thres, Uarc_thres) et un arc étant détecté si la quantité de sortie (Uout, Iout, Pout) dépasse la valeur seuil de détection d'arc (Iarc_thres, Uarc_thres), ladite valeur seuil de détection d'arc (Iarc_thres, Uarc_thres) étant déterminée en fonction d'au moins un point de consigne (Iset, Uset, Pset) pour une quantité de sortie.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)