Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2015117991) COUCHE PROTECTRICE POUR NACELLES PECVD EN GRAPHITE

Pub. No.:    WO/2015/117991    International Application No.:    PCT/EP2015/052255
Publication Date: Fri Aug 14 01:59:59 CEST 2015 International Filing Date: Thu Feb 05 00:59:59 CET 2015
IPC: C23C 16/458
H01L 21/673
H01L 21/677
Applicants: KGT GRAPHIT TECHNOLOGIE GMBH
Inventors: KORNMEYER, Torsten
Title: COUCHE PROTECTRICE POUR NACELLES PECVD EN GRAPHITE
Abstract:
L'invention concerne une couche protectrice améliorée pour nacelles PECVD en graphite destinées à recevoir des plaquettes et à transporter ces dernières à l'intérieur ou à travers des installations de PECVD, notamment dans l'industrie photovoltaïque. L'objectif de l'invention est de mettre au point une couche protectrice pour des nacelles PECVD permettant la production d'une couche antireflet améliorée et plus homogène sur des substrats de silicium. Cet objectif est atteint par le fait que la nacelle PECVD en graphite est pourvue d'un revêtement électroconducteur en matériau dur constitué de nitrure de titane et/ou de carbure de titane et/ou de carbure de bore (B4C).