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1. (WO2015117286) GABARIT DE NANO-IMPRESSION, SYSTÈME ET PROCÉDÉ D'IMPRESSION
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/117286    N° de la demande internationale :    PCT/CN2014/072903
Date de publication : 13.08.2015 Date de dépôt international : 05.03.2014
CIB :
G03F 7/00 (2006.01), H01L 21/67 (2006.01), B82Y 10/00 (2011.01)
Déposants : SOUTH UNIVERSITY OF SCIENCE AND TECHNOLOGY OF CHINA [CN/CN]; No. 1088, Xueyuan Rd., Xili, Nanshan District Shenzhen, Guangdong 518055 (CN)
Inventeurs : CHENG, Xing; (CN).
CUI, Dehu; (CN).
LI, Ziping; (CN).
MING, Jing; (CN).
ZHANG, Zhong; (CN)
Mandataire : BEYOND ATTORNEYS AT LAW; F6, Xijin Centre 39 Lianhuachi East Rd., Haidian District Beijing 100036 (CN)
Données relatives à la priorité :
201410044777.8 07.02.2014 CN
Titre (EN) NANO-IMPRINTING TEMPLATE, SYSTEM, AND IMPRINTING METHOD
(FR) GABARIT DE NANO-IMPRESSION, SYSTÈME ET PROCÉDÉ D'IMPRESSION
(ZH) 纳米压印模板、系统以及压印方法
Abrégé : front page image
(EN)A nano-imprinting template, a system, and an imprinting method. The nano-imprinting template (10) comprises: a first substrate (100) transparent to ultraviolet light; an imprinting pattern structure (105) formed on the first surface of the first substrate (100); a heating part (110) formed on the second surface, opposite to the first surface, of the first substrate (100) and transparent to the ultraviolet light; and a first electrode pair (115) formed on the second surface and used for supplying a current applied by an external power supply to the heating part (110) so as to enable the heating part (110) to generate heat. The nano-imprinting template (10) and the system seamlessly integrate an ultraviolet curable nano-imprinting technology with a thermoplastic nano-imprinting technology, and have the advantages of small size, low cost, simple process and the like. When the template and the system are used to carry out thermoplastic nano-imprinting, a large area of micro-nano figures can be copied; and when the template and the system are used to carry out ultraviolet curable nano-imprinting, the technologic throughput is improved, and figure copying defects are reduced.
(FR)L'invention concerne un gabarit de nano-impression, un système et un procédé d'impression. Le gabarit de nano-impression (10) comprend : un premier substrat (100) transparent à la lumière ultraviolette ; une structure de motif d'impression (105) formée sur la première surface du premier substrat (100); une partie de chauffage (110) formée sur la seconde surface, opposée à la première surface, du premier substrat (100) et transparente à la lumière ultraviolette ; et une première paire d'électrodes (115) formée sur la seconde surface et utilisée pour fournir un courant appliqué par une alimentation électrique externe à la partie de chauffage (110) de manière à permettre à la partie de chauffage (110) de générer de la chaleur. Le gabarit de nano-impression (10) et le système permettent d'intégrer sans problème une technologie de nano-impression par durcissement par ultraviolets, et une technologie de nano-impression thermoplastique, et ont pour avantages d'avoir une petite taille, de faibles coûts, un processus simple et analogues. Lorsque le gabarit et le système sont utilisés pour mettre en oeuvre une nano-impression thermoplastique, une grande surface de micro-nano caractères peut être copiée ; et lorsque le gabarit et le système sont utilisés pour mettre en œuvre une nano-impression par durcissement aux ultraviolets, le débit technologique est amélioré, et les défauts de copie de caractères sont réduits.
(ZH)一种纳米压印模板、系统以及压印方法。纳米压印模板(10)包括:对紫外光透明的第一基板(100);压印图形结构(105),形成在第一基板(100)的第一表面上;加热部件(110),形成在第一基板(100)的与第一表面相对的第二表面上,其中加热部件(110)对紫外光透明;以及第一电极对(115),形成在第二表面上,用于将外部电源施加的电流提供给加热部件(110)从而使加热部件(110)产生热量。纳米压印模板(10)和系统将紫外固化纳米压印技术和热塑纳米压印技术无缝融合在一起,具有设备体积小、成本低、工艺简单等优点。利用该模板和系统进行热塑纳米压印时能够复制大面积微纳图形;利用该模板和系统进行紫外光固化纳米压印时能够实现提高工艺吞吐量和减少图形复制缺陷的目的。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)