Certains contenus de cette application ne sont pas disponibles pour le moment.
Si cette situation persiste, veuillez nous contacter àObservations et contact
1. (WO2015116784) PROCÉDÉ PERMETTANT D'AMÉLIORER UNE UTILISATION DE FAISCEAU DANS UN IMPLANTEUR DE FAISCEAU D'IONS BALAYÉ
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2015/116784 N° de la demande internationale : PCT/US2015/013456
Date de publication : 06.08.2015 Date de dépôt international : 29.01.2015
CIB :
H01J 37/08 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02
Détails
04
Dispositions des électrodes et organes associés en vue de produire ou de commander la décharge, p.ex. dispositif électronoptique, dispositif ionoptique
08
Sources d'ions; Canons à ions
Déposants :
AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. [US/US]; Attn: Denis A. Robitaille 108 Cherry Hill Drive Beverly, Massachusetts 01915, US
Inventeurs :
SATOH, Shu; US
Données relatives à la priorité :
14/168,77030.01.2014US
Titre (EN) METHOD FOR ENHANCING BEAM UTILIZATION IN A SCANNED BEAM ION IMPLANTER
(FR) PROCÉDÉ PERMETTANT D'AMÉLIORER UNE UTILISATION DE FAISCEAU DANS UN IMPLANTEUR DE FAISCEAU D'IONS BALAYÉ
Abrégé :
(EN) A dosimetry system and method are provided for increasing utilization of an ion beam, wherein one or more side Faraday cups are positioned along a path of the ion beam and configured to sense a current thereof. The one or more side Faraday cups are separated by a distance associated with a diameter of the workpiece. The ion beam reciprocally scans across the workpiece, interlacing narrow scans and wide scans, wherein narrow scans are defined by reversing direction of the scanning near an edge of the workpiece, and wide scans are defined by reversing direction of the scanning at a position associated with an outboard region of the side Faraday cups.
(FR) L'invention porte sur un système de dosimétrie et sur un procédé permettant d'augmenter l'utilisation d'un faisceau d'ions, une ou plusieurs chambres d'ionisation de Faraday latérales étant positionnées sur le trajet du faisceau d'ions et configurées de sorte à détecter un courant de celui-ci. La ou les chambres d'ionisation de Faraday latérales sont séparées par une distance associée à un diamètre de la pièce à travailler. Le faisceau d'ions balaye en va-et-vient à travers la pièce à usiner, entremêlant des balayages étroits et des balayages larges, les balayages étroits étant définis par inversion de la direction de balayage à proximité d'un bord de la pièce à travailler et les balayages larges étant définis par inversion de la direction de balayage à une position associée à une région extérieure des chambres d'ionisation de Faraday latérales.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)