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1. (WO2015114828) DISPOSITIF DE SURVEILLANCE DE LA PRODUCTION DE SUBSTRAT ET PROCÉDÉ DE SURVEILLANCE DE LA PRODUCTION DE SUBSTRAT

Pub. No.:    WO/2015/114828    International Application No.:    PCT/JP2014/052436
Publication Date: Fri Aug 07 01:59:59 CEST 2015 International Filing Date: Tue Feb 04 00:59:59 CET 2014
IPC: H05K 13/00
Applicants: FUJI MACHINE MFG. CO., LTD.
富士機械製造株式会社
Inventors: MORITA Yukitoshi
森田 幸寿
Title: DISPOSITIF DE SURVEILLANCE DE LA PRODUCTION DE SUBSTRAT ET PROCÉDÉ DE SURVEILLANCE DE LA PRODUCTION DE SUBSTRAT
Abstract:
La présente invention concerne un dispositif de surveillance de la production de substrat qui surveille l'état de production d'un dispositif de production de substrat, ledit dispositif de surveillance de la production de substrat comprenant : une unité de base de données qui acquiert et stocke séquentiellement des données d'état de production en provenance d'un dispositif de production de substrat ; une unité d'affichage de graphique de transition qui affiche un graphique de transition représentant des modifications chronologiques pour au moins une portion des données d'état de production ; une unité d'entrée de changement de condition dans laquelle sont injectées des données de changement de condition, qui représentent des points de changement des conditions de production pour le dispositif de production de substrat et incluent des informations de moment de survenance pour les points de changement ; et une unité d'affichage de changement de condition qui affiche, à partir des données de changement de condition, au moins les informations de moment de survenance pour les points de changement aux positions chronologiques correspondantes au sein du graphique de transition. Le résultat est que le dispositif permet de faciliter la confirmation par un opérateur, ce qui modère la charge à laquelle il est soumis, et, en plus de cela, il est efficace pour le diagnostic et/ou la détermination d'une action d'amélioration et/ou de vérification des effets de l'action mise en œuvre pour l'amélioration lorsque le rendement de production diminue.