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1. (WO2015113658) PROCEDE ET DISPOSITIF POUR ACQUERIR ET TRAITER DES DIAGRAMMES DE DIFFRACTION ISSUS D'UN EQUIPEMENT METTANT EN OEUVRE UN FAISCEAU DE PARTICULES FOCALISEES, ET SYSTEME D'IMAGERIE ANALYTIQUE INTEGRANT CE DISPOSITIF

Pub. No.:    WO/2015/113658    International Application No.:    PCT/EP2014/071392
Publication Date: Fri Aug 07 01:59:59 CEST 2015 International Filing Date: Wed Oct 08 01:59:59 CEST 2014
IPC: G01N 23/225
H01J 37/26
G02B 26/08
G01T 1/20
Applicants: NEWTEC SCIENTIFIC
Inventors: MENARD, Jean-Claude
Title: PROCEDE ET DISPOSITIF POUR ACQUERIR ET TRAITER DES DIAGRAMMES DE DIFFRACTION ISSUS D'UN EQUIPEMENT METTANT EN OEUVRE UN FAISCEAU DE PARTICULES FOCALISEES, ET SYSTEME D'IMAGERIE ANALYTIQUE INTEGRANT CE DISPOSITIF
Abstract:
La présente invention concerne un procédé pour traiter des diagrammes de diffraction issus d'un équipement mettant en œuvre un faisceau de particules focalisées, lesquels diagrammes de diffraction étant générés par un écran convertisseur particules-photons (1), qui comprend (i) une transmission sélective vers un photo-détecteur, au moyen d'un modulateur spatial de lumière (20), de la lumière émise depuis ledit écran convertisseur (1) dans au moins une zone sélectionnée, laquelle lumière ayant une intensité photonique représentative des caractéristiques de diffraction du matériau dans ladite zone sélectionnée, (ii) une détection, au moyen dudit photo-détecteur, d'une intensité photonique représentative de la lumière transmise par ledit modulateur spatial de lumière (20), et (iii) une programmation dudit modulateur spatial de lumière (20) selon un diagramme filtre (DF) pour réaliser une fonction de filtrage spatial de la lumière issue dudit écran convertisseur (1).