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1. (WO2015112538) PLATE-FORME SOUS VIDE DE TRANSPORT DE SUBSTRATS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/112538    N° de la demande internationale :    PCT/US2015/012155
Date de publication : 30.07.2015 Date de dépôt international : 21.01.2015
CIB :
H01L 21/677 (2006.01)
Déposants : PERSIMMON TECHNOLOGIES, CORP. [US/US]; 200 Harvard Mill Square Wakefield, MA 01880 (US)
Inventeurs : HOFMEISTER, Christopher; (US).
HOSEK, Martin; (US)
Mandataire : HARRINGTON, Mark, F.; (US)
Données relatives à la priorité :
61/929,536 21.01.2014 US
Titre (EN) SUBSTRATE TRANSPORT VACUUM PLATFORM
(FR) PLATE-FORME SOUS VIDE DE TRANSPORT DE SUBSTRATS
Abrégé : front page image
(EN)An apparatus including a first device configured to support at least one substrate thereon; and a first transport having the device connected thereto. The transport is configured to carry the device. The transport includes a plurality of supports which are movable relative to one another along a linear path; at least one magnetic bearing which at least partially couples the supports to one another. A first one of the magnetic bearings includes a first permanent magnet and a second magnet. The first permanent magnet is connected to a first one of the supports. A magnetic field adjuster is connected to the first support which is configured to move the first permanent magnet and/or vary influence of a magnetic field of the first permanent magnet relative to the second magnet.
(FR)L'invention concerne un appareil comprenant un premier dispositif configuré pour supporter au moins un substrat sur celui-ci ; et un premier moyen de transport auquel le dispositif est connecté. Le moyen de transport est configurée pour porter le dispositif. Le moyen de transport comprend une pluralité de supports qui sont mobiles les uns par rapport aux autres le long d'un trajet linéaire ; au moins un palier magnétique qui accouple au moins partiellement les supports les uns aux autres. Un premier des paliers magnétiques comprend un premier aimant permanent et un deuxième aimant. Le premier aimant permanent est connecté à un premier des supports. Un dispositif de réglage de champ magnétique est connecté au premier support qui est configuré pour déplacer le premier aimant permanent et/ou faire varier l'influence d'un champ magnétique du premier aimant permanent par rapport au deuxième aimant.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)