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1. (WO2015110240) ENSEMBLE BOBINE, ACTIONNEUR ELECTROMAGNETIQUE, DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT D'ETAGE, APPAREIL LITHOGRAPHIQUE ET PROCEDE DE FABRICATION DE DISPOSITIF
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/110240    N° de la demande internationale :    PCT/EP2014/078677
Date de publication : 30.07.2015 Date de dépôt international : 19.12.2014
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), H02K 41/03 (2006.01), H02K 1/14 (2006.01), H02K 3/18 (2006.01), H02K 1/20 (2006.01), H02K 3/24 (2006.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 NL-5500 AH Veldhoven (NL).
ASML HOLDING NV [--/NL]; (NL)
Inventeurs : HUANG, Yang-Shan; (NL).
KIM, Minkyu; (US).
NIJSSE, Gerard, Johannes, Pieter; (NL)
Mandataire : VERDONK, Peter; (NL)
Données relatives à la priorité :
61/930,343 22.01.2014 US
Titre (EN) COIL ASSEMBLY, ELECTROMAGNETIC ACTUATOR, STAGE POSITIONING DEVICE, LITHOGRAPHIC APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) ENSEMBLE BOBINE, ACTIONNEUR ELECTROMAGNETIQUE, DISPOSITIF DE POSITIONNEMENT D'ETAGE, APPAREIL LITHOGRAPHIQUE ET PROCEDE DE FABRICATION DE DISPOSITIF
Abrégé : front page image
(EN)A coil assembly for an electromagnetic actuator or motor is described, the coil assembly including a magnetic core comprising at least one pair of slots; a coil, at least partly mounted inside the at least one pair of slots; and a cooling member, the cooling member being mounted to a surface of the coil.
(FR)La présente invention concerne un ensemble bobine pour un actionneur ou moteur électromagnétique, l'ensemble bobine comportant un noyau magnétique comprenant au moins une paire de fentes; une bobine, montée au moins en partie à l'intérieur de ladite au moins une paire de fentes; un organe de refroidissement, l'organe de refroidissement étant monté à une surface de la bobine.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)