WIPO logo
Mobile | Deutsch | English | Español | 日本語 | 한국어 | Português | Русский | 中文 | العربية |
PATENTSCOPE

Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales
World Intellectual Property Organization
Recherche
 
Options de navigation
 
Traduction
 
Options
 
Quoi de neuf
 
Connexion
 
Aide
 
Traduction automatique
1. (WO2015109656) SOCLE ET SON PROCÉDÉ DE COMMANDE, PLATEAU ET CHAMBRE DE TRAITEMENT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/109656    N° de la demande internationale :    PCT/CN2014/074706
Date de publication : 30.07.2015 Date de dépôt international : 03.04.2014
CIB :
C23C 16/52 (2006.01), C23C 16/458 (2006.01)
Déposants : TSINGHUA UNIVERSITY [CN/CN]; Qinghuayuan, Haidian District Beijing 100084 (CN)
Inventeurs : XIANG, Dong; (CN).
XIA, Huanxiong; (CN).
YANG, Wang; (CN).
MU, Peng; (CN).
ZHANG, Han; (CN).
WANG, Wei; (CN).
LIU, Xueping; (CN)
Mandataire : TSINGYIHUA INTELLECTUAL PROPERTY LLC; Room 301, Trade Building, Zhaolanyuan, Tsinghua University, Qinghuayuan, Haidian District Beijing 100084 (CN)
Données relatives à la priorité :
201410029395.8 22.01.2014 CN
Titre (EN) PEDESTAL AND METHOD FOR CONTROLLING THE SAME, TRAY, AND PROCESS CHAMBER
(FR) SOCLE ET SON PROCÉDÉ DE COMMANDE, PLATEAU ET CHAMBRE DE TRAITEMENT
Abrégé : front page image
(EN)A pedestal and a method for controlling the same, a tray, and a process chamber are provided. The pedestal comprises: a barrier (12), defining a plurality of areas, in which the plurality of areas are electrically insulated and thermally insulated from each other;a plurality of subbases (11), disposed in the plurality of areas respectively; and a control device, configured for controlling a temperature and/or a power of each subbase(11).
(FR)L’invention concerne un socle et son procédé de commande, un plateau et une chambre de traitement. Le socle comprend : une barrière (12) définissant une pluralité de zones, la pluralité de zones étant isolées électriquement et thermiquement les unes des autres ; une pluralité de sous-bases (11) disposées dans la pluralité de zones respectivement ; et un dispositif de commande conçu pour commander la température et/ou l’alimentation électrique de chaque sous-base (11).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)