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1. (WO2015108548) PROCÉDÉ DE RÉALISATION DE CONTACT ÉLECTRIQUE ENTRE UNE ÉLECTRODE FIXE ET UNE PIÈCE CIBLE AMOVIBLE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/108548    N° de la demande internationale :    PCT/US2014/017457
Date de publication : 23.07.2015 Date de dépôt international : 20.02.2014
CIB :
C23C 14/34 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventeurs : HAMMOND, Edward P., IV; (US).
RUHLAND, Eric; (US).
POLYAK, Alexander S.; (US).
TANAKA, Tsutomu; (US).
LANE, Christopher T.; (US).
L'HEUREUX, James L.; (US)
Mandataire : PATTERSON, B. Todd; Patterson & Sheridan, LLP 24 Greenway Plaza, Suite 1600 Houston, TX 77046 (US)
Données relatives à la priorité :
61/928,839 17.01.2014 US
Titre (EN) ELECTRICAL CONTACT METHOD BETWEEN FIXED ELECTRODE AND REMOVABLE TARGET PIECE
(FR) PROCÉDÉ DE RÉALISATION DE CONTACT ÉLECTRIQUE ENTRE UNE ÉLECTRODE FIXE ET UNE PIÈCE CIBLE AMOVIBLE
Abrégé : front page image
(EN)Embodiments of the present invention relate to a plasma source that includes an electrode and a plurality of target pieces covering an outer side surface of the electrode. The target pieces are electrically coupled to the electrode by one or more springs or spring-like elements. Alternatively, the target pieces may be pushed against the outer surface of the electrode by clamps or brackets. Since the target pieces are not bonded to the electrode, replacing the target pieces becomes more convenient
(FR)Des modes de réalisation de la présente invention se rapportent à une source de plasma qui comprend une électrode et une pluralité de pièces cibles recouvrant une surface latérale externe de l'électrode. Les pièces cibles sont électriquement couplées à l'électrode par un ou plusieurs ressorts ou éléments de type ressort. En variante, les pièces cibles peuvent être poussées contre la surface externe de l'électrode par des pinces ou des supports. Puisque les pièces cibles ne sont pas fixées à l'électrode, le remplacement des pièces cibles devient plus pratique.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LT, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)