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1. (WO2015108113) PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE LIQUIDE DE POLISSAGE, ET PROCÉDÉ DE POLISSAGE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/108113    N° de la demande internationale :    PCT/JP2015/050954
Date de publication : 23.07.2015 Date de dépôt international : 15.01.2015
CIB :
C09K 3/14 (2006.01), B24B 37/00 (2012.01), C08F 2/10 (2006.01), C08F 20/06 (2006.01), H01L 21/304 (2006.01)
Déposants : HITACHI CHEMICAL COMPANY, LTD. [JP/JP]; 9-2, Marunouchi 1-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1006606 (JP)
Inventeurs : HANANO Masayuki; (JP).
SAKASHITA Masahiro; (JP).
FUKASAWA Masato; (JP).
MISHIMA Kouji; (JP)
Mandataire : HASEGAWA Yoshiki; (JP)
Données relatives à la priorité :
2014-005831 16.01.2014 JP
Titre (EN) POLISHING LIQUID PRODUCTION METHOD, AND POLISHING METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE LIQUIDE DE POLISSAGE, ET PROCÉDÉ DE POLISSAGE
(JA) 研磨液の製造方法及び研磨方法
Abrégé : front page image
(EN) The present invention relates to a polishing liquid production method in which the pH of the polishing liquid is 4 or less, said method comprising: a step for obtaining a solution by dissolving a polymerization initiator in an aqueous solvent that does not contain inorganic acid; a step for obtaining a methacrylic acid polymer by at least polymerizing a monomer component that contains methacrylic acid in said solution; and a step for obtaining a polishing liquid by mixing the methacrylic acid polymer, a specific carboxylic acid compound, polishing particles, and a metal corrosion prevention agent.
(FR) La présente invention concerne un procédé de production de liquide de polissage dans lequel le pH du liquide de polissage est de 4 ou moins, ledit procédé comportant : une étape d'obtention d'une solution par dissolution d'un initiateur de polymérisation dans un solvant aqueux qui ne contient pas d'acide minéral ; une étape d'obtention d'un polymère d'acide méthacrylique par la polymérisation au moins d'un constituant monomère qui contient de l'acide méthacrylique dans ladite solution ; et une étape d'obtention d'un liquide de polissage par le mélange du polymère d'acide méthacrylique, d'un composé acide carboxylique particulier, de particules de polissage, et d'un agent de prévention de la corrosion des métaux.
(JA) 本発明は、無機酸を含まない水系溶媒に重合開始剤を溶解させて溶液を得る工程と、溶液中で少なくともメタクリル酸を含むモノマ成分を重合させてメタクリル酸系ポリマを得る工程と、メタクリル酸系ポリマ、特定のカルボン酸化合物、研磨粒子及び金属防食剤を混合して研磨液を得る工程と、を備え、研磨液のpHが4以下である研磨液の製造方法に関する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)