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1. (WO2015107845) MÉCANISME ROTATIF, MACHINE-OUTIL, ET DISPOSITIF DE PRODUCTION DE SEMI-CONDUCTEURS
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication :    WO/2015/107845    N° de la demande internationale :    PCT/JP2014/084169
Date de publication : 23.07.2015 Date de dépôt international : 24.12.2014
CIB :
F16J 15/40 (2006.01), B23Q 11/00 (2006.01), F16C 19/06 (2006.01), F16C 37/00 (2006.01), F16C 39/04 (2006.01), H01L 21/683 (2006.01), H02K 5/16 (2006.01)
Déposants : NSK Ltd. [JP/JP]; (JP)
Inventeurs : NAKAMURA, Tsuyoshi; (JP)
Mandataire : SAKAI, Hiroaki; (JP)
Données relatives à la priorité :
2014-004632 14.01.2014 JP
2014-013801 28.01.2014 JP
2014-025850 13.02.2014 JP
2014-045255 07.03.2014 JP
Titre (EN) ROTATING MECHANISM, MACHINE TOOL, AND SEMICONDUCTOR PRODUCTION DEVICE
(FR) MÉCANISME ROTATIF, MACHINE-OUTIL, ET DISPOSITIF DE PRODUCTION DE SEMI-CONDUCTEURS
(JA) 回転機構、工作機械及び半導体製造装置
Abrégé : front page image
(EN)This rotating mechanism (1) includes: a housing (2); a shaft (4) inserted into a hole (2BH) provided to a housing (2); bearings (6A, 6B) that are installed in the housing (2) and that rotatably support the shaft (4); a rotating member (5), which is provided to one end of the shaft (4), rotates together with the shaft (4), and of which a portion protruding to the outside in the radial direction of the hole (2BH) opposes the housing (2) at a gap of a predetermined size; and an air pathway (7) that connects the gap and the outside of the housing (2), causing gases at the area of the gap to pass to the outside of the housing (2).
(FR)L'invention porte sur un mécanisme rotatif (1), qui comprend : un boîtier (2) ; un arbre (4) introduit dans un trou (2BH) réalisé sur un boîtier (2) ; des paliers (6A, 6B) qui sont installés dans le boîtier (2) et qui portent l'arbre (4) en rotation ; un élément rotatif (5) qui est disposé à une extrémité de l'arbre (4), qui tourne avec l'arbre (4), et dont une partie faisant saillie vers l'extérieur dans la direction radiale du trou (2BH) est fait face au boîtier (2) au niveau d'un espace d'une taille prédéterminée ; et un trajet d'air (7) qui relie l'espace et l'extérieur du boîtier (2), amenant les gaz à passer dans la zone de l'espace vers l'extérieur du boîtier (2).
(JA) 回転機構(1)は、ハウジング(2)と、ハウジング(2)に設けられた孔(2BH)に挿通されるシャフト(4)と、ハウジング(2)に設置されてシャフト(4)を回転可能に支持する軸受(6A、6B)と、シャフト(4)の一端部に設けられてシャフト(4)ともに回転し、かつ孔(2BH)の径方向外側まで張り出した部分(5F)がハウジング(2)と所定の大きさの隙間を有して対向する回転部材(5)と、前述した隙間とハウジング(2)の外側とを接続して、前述した隙間の部分の気体をハウジング(2)の外部に通過させる気体通路(7)と、を含む。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)